(19)国家知识产权局 (12)发明 专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202210386712.6 (22)申请日 2022.04.14 (65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 114453324 A (43)申请公布日 2022.05.10 (73)专利权人 智程半导体设备 科技 （昆山） 有限 公司 地址 215000 江苏省苏州市昆山市玉山 镇 玉杨路299号3号房 (72)发明人 顾雪平　时新宇　 (74)专利代理 机构 苏州友佳知识产权代理事务 所(普通合伙) 32351 专利代理师 储振 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01)H01L 21/67(2006.01) (56)对比文件 CN 10284252 2 A,2012.12.26 US 2004/0251319 A1,20 04.12.16 US 6383331 B1,20 02.05.07 JP 2004-356317 A,20 04.12.16 JP 2012-15180 A,2012.01.19 审查员 张旋 (54)发明名称 一种单片式晶圆清洗用喷嘴组件及单片式 清洗机 (57)摘要 本发明提供了一种单片式晶圆清洗用喷嘴 组件及单片式清洗机， 包括： 喷液管， 同轴套设于 喷液管的气流管， 喷液管底端设置抵持气流管的 旋流器， 旋流器同轴内嵌分液器； 分液器沿环形 凹设若干用于均匀分散喷液管内液体的导液槽， 旋流器沿环形凹设若干用于引导气流管内气体 旋向排出的离心气槽， 离心气槽形成气体出口处 并面向导液槽内设供液体流通的导向流道， 以引 导气体将液体破碎为均匀且更小的呈雾化状的 液滴。 通过申请实现了对药液的破碎效果好， 以 提升药液对晶圆的清洗效果， 提高晶圆清洗的洁 净程度。 权利要求书2页 说明书6页 附图11页 CN 114453324 B 2022.06.28 CN 114453324 B 1.一种单片式晶圆清洗用喷嘴组件， 包括： 喷液管， 同轴套设于所述喷液管的气流管， 其特征在于， 所述喷液 管底端设置 抵持所述气流管的旋流器， 所述旋流器同轴内嵌分液器； 所述分液器沿环形凹设若干用于均匀分散所述喷液管内液体的导液槽， 所述旋流器沿 环形凹设若干用于引导所述气流管内气 体旋向排出的离心气槽， 所述离心气槽形成气 体出 口处并面向所述导液槽内设供液体流通的导向流道， 所述导向流道呈倾斜设置以引导液体 旋转向下排出， 以引导气体将液体破碎为均匀且更小的呈雾化状的液滴。 2.根据权利要求1所述的单片式晶圆清洗用喷嘴组件， 其特征在于， 所述喷嘴组件包 括： 所述喷液管与所述气流管之 间形成环形的气流腔 体， 内嵌所述喷液管顶部的导液管， 所 述导液管内设供液体流通的第一通道， 所述喷液管设置连通所述第一通道的第二通道， 所 述喷液管与所述气流管的连接处形成位于所述气流腔 体顶部的密封圈， 所述气流管设置向 所述气流腔体内输送气体的进气管。 3.根据权利要求2所述的单片式晶圆清洗用喷嘴组件， 其特征在于， 所述旋流器包括： 与所述气流管相 抵持的旋流块与顶块， 所述顶块位于所述旋流块顶部， 所述顶块与所述旋 流块沿环形凹设若干 离心气槽 。 4.根据权利要求3所述的单片式晶圆清洗用喷嘴组件， 其特征在于， 所述离心气槽包 括： 所述顶块沿环形凹设若干呈倾斜设置并连通所述气流腔体的进气槽， 以引导所述气流 腔体内气体呈旋向流出， 所述进气 槽远离所述气流腔 体的一端形成面向所述导向流道的出 口处， 以引导气体将导向流道内流出的液体冲散为均匀且更小的呈雾化状的液滴。 5.根据权利要求3所述的单片式晶圆清洗用喷嘴组件， 其特征在于， 所述分液器包括： 内嵌于所述旋流块的衔接块， 所述衔接块呈圆台状， 所述衔接块底端设置底块， 所述衔接块 与底块之间形成边缘处， 轴向依 次贯穿所述衔接块与所述底块的直流槽， 所述衔接块与所 述底块沿环形 凹设若干导液槽， 所述旋流器整体包裹衔接块并沿竖直方向部分围合所述底 块。 6.根据权利要求5所述的单片式晶圆清洗用喷嘴组件， 其特征在于， 所述导液槽包括： 所述衔接块沿环形均匀凹设若干用于分散所述第二通道内液体的导液流道， 所述底块沿环 形均匀凹设若干连通所述 导液流道的导向流道； 其中， 所述导液流道与导向流道均呈直线型， 液体在导液流道与导向流道中形成迂回 扩散状并向下流动， 所述导向流道中向下流动的液体被离心气 槽形成气 体出口处所汇聚的 气体予以分散 。 7.一种单片式清洗机， 其特征在于， 包括： 安装板， 所述安装板顶部设置两组电机座， 连 接所述电机座的驱动电机， 所述安装板底部竖直装配两组与所述驱动电机同轴设置的支撑 件， 两组所述支撑件底端分别连接第一旋转座与第二旋转座， 所述第二旋转座底端设置安 装座， 内设于所述安装座顶部的第一气管， 所述第一旋转座底端设置摆臂组件， 所述摆臂组 件远离第一旋转座的一端设置如权利要求2至6中任一项所述的单片 式晶圆清洗用喷嘴组 件。 8.根据权利要求7所述的单片式清洗机， 其特征在于， 所述摆臂组件包括： 支撑臂， 所述 支撑臂顶部设置连通进气管 的第二气管， 连通导液管 的第一液管， 所述第一液管反向于所 述第二气管 的一侧形成第二液管， 所述支撑臂靠近所述喷嘴组件的一端设置第一连接件，权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114453324 B 2连接所述第一连接件并内嵌所述第二液管的第二连接件， 所述第一连接件设置连接所述喷 嘴组件的第三连接件， 所述支撑臂设置用于分隔所述第二气管与第一液管及第二液管的固 定件。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114453324 B 3