ICS 31.030 L 90 ZZB 浙江制造团体标准 T/ZZB 1055—2019 平板显示器用高浓度四甲基氢氧化铵 High concentration tetramethyl ammonium hydroxide for flat panel displays production 2019 - 03 - 27发布 2019 - 04 - 30实施 浙江省品牌建设联合会 发布 ZHEJIANG MADET/ZZB 1055 —2019 I 目 次 前言 ................................................................................ II 1 范围 .............................................................................. 1 2 规范性引用文件 .................................................................... 1 3 分类和常用规格 .................................................................... 1 4 基本要求 .......................................................................... 2 5 技术要求 .......................................................................... 2 6 试验方法 .......................................................................... 3 7 检验规则 .......................................................................... 4 8 包装、标志、运输和贮存 ............................................................ 5 9 质量承诺 .......................................................................... 6 ZHEJIANG MADET/ZZB 1055 —2019 II 前 言 本标准按照 GB/T 1.1 —2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由浙江省品牌建设联合会提出并归口。 本标准由浙江方圆检测集团股份有限公司 牵头组织制 定。 本标准主要 起草单位： 杭州格林达电子材料股份有限公司。 本标准参与起草单位：浙江方圆检测集团股份有限公司。 本标准主要起草人：陈玉英、尹云舰、韩延刚、周利超、吴晓雯、葛瑶。 本标准由浙江方圆检测集团股份有限公司 负责解释。 ZHEJIANG MADET/ZZB 1055 —2019 1 平板显示器用高浓度四甲基氢氧化铵 1 范围 本标准规定了平板显示器用 高浓度四甲基氢氧化铵 的分类和常用规格、基本要求、技术要求、试验 方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存、质量承诺。 本标准适用于以三甲胺与碳酸二甲酯为原料， 通过季铵盐化合物电解制得的 平板显示器用四甲基氢 氧化铵，其质量分数不低于20% 。 分子式：C 4H13NO。 相对分子质量： 91.15（按2016年国际相对原子质量） 。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。 凡是注日期的引用文件， 仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本( 包括所有的修改单 )适用于本文件。 GB 190 危险货物包装标志 GB/T 191 包装储运图示标志 GB/T 601 化学试剂 标准滴定溶液的制备 GB/T 602 化学试剂 杂质测定用标准溶液的制备 GB/T 603 化学试剂 试验方法中所用制剂及制品的制备 GB/T 605 化学试剂 色度测定通用方法 GB/T 6678 化工产品采样总则 GB/T 6680 液体化工产品采样通则 GB/T 6682 分析实验室用水规格和试验方法 GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB 15258 化学品安全标签编写规定 GB/T 24770 工业用三甲胺 GB/T 33107 工业用碳酸二甲酯 GB/T 34672 化学试剂离子色谱法测定通则 GB 50073 洁净厂房设计规范 SJ/T 11511—201 5 液晶显示器用正胶显影液 SJ/T 11634 电子工业用四甲基氢氧化铵中甲醇的测定 顶空气相色谱法 SJ/T 11635 电子工业用四甲基氢氧化铵中碳酸根离子的测定 自动电位滴定法 SJ/T 11636 电子工业用四甲基氢氧化铵中四甲基氢氧化铵的测定 自动电位滴定法 SJ/T 11638 电子化学品中颗粒的测试方法 3 分类和常用规格 ZHEJIANG MADET/ZZB 1055 —2019 2 按照质量分数进行分类，可分为25.00% 四甲基氢氧化铵（ TMAH-25）、24.80%四甲基氢氧化铵 （TMAH-24.8）和20.00 %四甲基氢氧化铵 （TMAH-20）。 4 基本要求 4.1 设计研发 应具备季铵盐化合物的提纯、合成、分离、电解、混配、过滤等工艺 的设计能力。 4.2 原材料 4.2.1 三甲胺应符合 GB/T 24770 一等品指标要求。 4.2.2 碳酸二甲酯应符合 GB/T 33107 要求。 4.3 生产工艺 4.3.1 应选用与化学品直接接触时杂质溶出不会影响产品质量的超纯设备和包材。 4.3.2 应在净化环境中正压保护下，采用全自动超净灌装系统。 4.3.3 生产过程采用密闭管道输送、自动计量控制，工艺参数采用 DCS集散型控制系统控制。 4.3.4 应建立安全仪表系统（SIS），温度、压力、流量应自动连锁及报警。 4.4 检测能力 应具备标准中全部项目的检测能力。 5 技术要求 5.1 外观 应为无色透明液体。 5.2 技术指标 应符合表1 所示的技术指标。 表1 平板显示器用高浓度四甲基氢氧化铵的技术指标 项目 规格型号 TMAH-25 TMAH-24.8 TMAH-20 四甲基氢氧化铵质量分数，% 25.00±0.03 24.80±0.03 20.00±0.03 色度，Hazen ≤ 5 甲醇质量分数，mg/kg ≤ 40 阴离子质量分数 碳酸根离子，mg/kg ≤ 50 氯离子，mg/kg ≤ 0.1 阳离子质量分数 银（Ag）， µg/kg ≤ 0.5 铝（Al）， µg/kg ≤ 0.5 砷（As）， µg/kg ≤ 0.5 金（Au）， µg/kg ≤ 0.5 ZHEJIANG MADET/ZZB 1055 —2019 3 表1 （续） 项目 规格型号 TMAH-25 TMAH-24.8 TMAH-20 阳离子质量分数 硼（B），µg/kg ≤ 0.5 钡（Ba）， µg/kg ≤ 0.5 铍（Be）， µg/kg ≤ 0.5 铋（Bi）， µg/kg ≤ 0.5 钙（Ca）， µg/kg ≤ 0.5 镉（Cd）， µg/kg ≤ 0.5 钴（Co）， µg/kg ≤ 0.5 铬（Cr）， µg/kg ≤ 0.5 铜（Cu）， µg/kg ≤ 0.5 铁（Fe）， µg/kg ≤ 0.5 镓（Ga）， µg/kg ≤ 0.5 汞（Hg）， µg/kg ≤ 0.5 铟（In）， µg/kg ≤ 0.5 钾（K），µg/kg ≤ 0.5 锂（Li）， µg/kg ≤ 0.5 镁（Mg）， µg/kg ≤ 0.5 锰（Mn）， µg/kg ≤ 0.5 钼（Mo）， µg/kg ≤ 0.5 钠（Na）， µg/kg ≤ 0.5 镍（Ni）， µg/kg ≤ 0.5 铅（Pb）， µg/kg ≤ 0.5 铂（Pt）， µg/kg ≤ 0.5 锑（Sb）， µg/kg ≤ 0.5 锡（Sn）， µg/kg ≤ 0.5 锶（Sr）， µg/kg ≤ 0.5 钛（Ti）， µg/kg ≤ 0.5 钒（V），µg/kg ≤ 0.5 锌