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中国表面工程协会团体标准
T/CAEA 15—2021 T/CSEA
真空磁控溅射镀银工艺及质量检验
Process and Quality inspection of vacuum magnetron sputtering silver coating
(发布稿)
2021 - 1 - 29发布 2021 - 2 - 1实施
中国表面工程协会 发布
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T/CAEA 15 —2021
I 目次
前言 ................................ ................................ ................. II
1 范围 ................................ ................................ ............... 1
2 规范性引用文件 ................................ ................................ ..... 1
3 术语和定义 ................................ ................................ ......... 1
4 要求 ................................ ................................ ............... 4
4.1 人员 ................................ ................................ ........... 4
4.2 材料 ................................ ................................ ........... 4
4.3 环境 ................................ ................................ ........... 4
4.4 设备、仪表 ................................ ................................ ..... 4
4.5 安全与环保 ................................ ................................ ..... 4
4.6 工艺 ................................ ................................ ........... 5
5 质量要求 ................................ ................................ ........... 7
5.1 外观 ................................ ................................ ........... 7
5.2 厚度 ................................ ................................ ........... 8
5.3 结合力 ................................ ................................ ......... 8
5.4 抗硫性 ................................ ................................ ......... 8
5.5 可焊性 ................................ ................................ ......... 8
5.6 耐蚀性 ................................ ................................ ......... 8
5.7 银层的纯度 ................................ ................................ ..... 9
6 检验方法 ................................ ................................ ........... 9
6.1 外观 ................................ ................................ ........... 9
6.2 镀层厚度 ................................ ................................ ....... 9
6.3 结合力 ................................ ................................ ......... 9
6.4 抗硫性 ................................ ................................ ........ 10
6.5 可焊性 ................................ ................................ ........ 10
6.6 耐蚀性 ................................ ................................ ........ 10
6.7 银层的纯度 ................................ ................................ .... 10
7 检验 ................................ ................................ .............. 10
7.1 检验分类 ................................ ................................ ...... 10
7.2 鉴定检验 ................................ ................................ ...... 10
7.3 质量一致性检验 ................................ ................................ 11
8 包装与储存 ................................ ................................ ........ 11
8.1 包装要求 ................................ ................................ ...... 11
8.2 储存条件 ................................ ................................ ...... 12
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T/CAEA 15 —2021
II 前言
本文件按照 GB/T 1.1 —2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利,本标准的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本文件由 中国表面工程协会 真空镀膜分会提出。
本文件由 中国表面工程协会 归口。
本文件起草单位: 贵州航天精工制造有限公司、武汉大学、 沈阳威利德真空技术有限公司 、中国航
发沈阳发动机研究所 。
本文件主要起草人: 詹兴刚、杨兵、 白海萍、李英亮、 沈丽娟、胡军林、高乾旺、 王光华、胡隆伟、
代文彪、余绍伟 、杨彪、李世洪、杨军、袁光生、马小红、李祥、张俊、崔薇薇、邹明奎、 詹永波、罗
元凯、李正刚、修文波、黄丽、杨敏、詹永琴、韩璐、范旭 、孙景冬、 李鹏。
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T/CAEA 15 —2021
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真空磁控溅射镀银工艺及质量检验
1 范围
本标准规定了真空磁控溅射镀银有关的术语和定义、工艺方法、材料与设备要求、质量检验以及包
装储存等。
本标准适用于航空航天、船舶、电子等领域的金属以及非金属零件的真空磁控溅射镀银工艺、质量
控制与验收。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。 其中, 注日期的引用文件,
仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本
文件。
GB/T 3621 钛及钛合金板材
GB/T 4135 银锭
GB/T 4842 氩
T-CSEA 15—2021 真空磁控溅射镀银工艺及质量检验
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