ICS 81.040.30 CCS Q 37 团 体 标 准 T/CSTM 00410—2021 有机发光二极管显示器件用基板玻璃 Substrate glass for organic light emitting diode display devices 2021-08-09发布 2021-11-09 实施 中关村材料试验技术联盟 发布 CSTMhQÆQl^Ou( 全国团体标准信息平台 CSTMhQÆQl^Ou(全国团体标准信息平台 T/CSTM 00410-20 21 I 前 言 本文件参照 GB/T 1.1—2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文本的结构和起草规则》 的规则起 草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中国材料与试验团体标准委员会建筑材料领域委员会 (CSTM FC03) 提出。 本文件由中国材料与试验团体标准委员会建筑材料领域委员会特种玻璃技术委员会 (CSTM FC03/TC15) 归口。 CSTMhQÆQl^Ou( 全国团体标准信息平台 CSTMhQÆQl^Ou(全国团体标准信息平台 T/CSTM 00410-20 21 1 有机发光二极管显示 器件用基板玻璃 1 范围 本文件规定了有机发光二极管显示器件用基板玻璃术语和定义、要求、试验方法、检验 规则、产品 包装、标志、运输和贮存。 本文件适用于低温多晶硅（ LTPS）、氧化铟镓锌 （IGZO）、低温多晶氧化物 （LTPO）等半导体制造 工艺的有源矩阵有机发光二极管显示器件用基板玻璃（以下简称“ 基板玻璃 ”）。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款 。其中， 注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB/T 1549—2008 纤维玻璃化学分析方法 GB/T 2680 建筑玻璃 可见光透 射比、太阳光 直接透射比、太阳 能总透射比、紫外线透射比及有关 窗玻璃参数的测定 GB/T 2828.1 —2012 计数抽样检验程序 第1部分：按接收质量限(AQL) 检索的逐批检验抽样计划 GB/T 5432 玻璃密度测定 浮力法 GB/T 16920 玻璃平均线热膨胀系数的测定 GB/T 20871.2 有机发光二极管显示器 第2部分：术语与文字符号 GB/T 31838.2 固体绝缘材料 介电和电阻特性 第2部分：电阻特性(D C方法 ) 体积电阻和体积电 阻率 GB/T 31958 薄膜晶体管液晶显示 器用基板玻璃 GB/T 32639 平板显示器基板玻璃术语 GB/T 32643 平板显示器基板玻璃表面波纹度的测量方法 GB/T 32644 平板显示器基板玻璃化学耐久性的试验方法 GB/T 32645 平板显示器基板玻璃边缘条件规范 GB/T 32647 平板显示器玻璃基板规范 GB/T 37788 超薄玻璃弹性模量试验方法 GB/T 37900 超薄玻璃硬度和断裂韧性试验方法 小负荷维氏硬度压痕法 GB/T 38711 超薄玻璃再热线收缩率试验方法 激光法 GB/T 38712 超薄玻璃导热系数试验方法 热流法 SJ/T 11043 电子玻璃高频介质损耗和介电常数的测试方法 SJ/T 11039 电子玻璃退火点和应变点的测试方法 3 术语和定义 GB/T 31958 、GB/T 32639、 GB/T 32645、 GB/T 32647、GB/T 38711、GB/T 20871.2界定的术语和 CSTMhQÆQl^Ou( 全国团体标准信息平台 T/CSTM 00410— 2021 2 定义适用于本文件。 4 要求 4.1 外观质量 基板玻璃的外观质量应符合表 1的规定。 表1 外观质量 缺陷名称 要求 内部缺陷 ＞0.15 mm，不准许 ≤0.15 mm，每片玻璃缺陷总数不超过 5个，缺陷间距＞ 300 mm 颗粒 ≤0.05mm，不大于 200个 划痕 工作面a 10k lux照度未检出；非工作面 1.5k lux照度未检出。 表面脏污 工作面a 10k lux照度未检出；非工作面 1.5k lux照度未检出。 裂纹 不准许 掉片 ≤1.0 mm（L）×0.5 mm（W）×0.3 mm（H） a用于承载显示单元的基板玻璃表面。 4.2 尺寸偏差 4.2.1 长度偏差及宽度偏差 基板玻璃的长度偏差及宽度偏差应符合表 2的规定。 表2 基板玻璃长度偏差及宽度偏差 单位为毫米 项 目 最大允许偏差 宽度×长度 730×920（G4.5a）  0.20 1100×1300（G5 a）  0.25 1300×1500（G5.5 a）  0.30 1500×1850（G6 a）  0.40 其它规格 （最大边长尺寸 ×0.02%） a基板玻璃 的世代。 4.2.2 厚度偏差和厚薄差 基板玻璃的厚度偏差的绝对值应小于等于标称值的 10%；厚薄差应不大于 0.02 mm。 4.2.3 定位角偏差 基板玻璃的定位角偏差应符合表 3的规定。 表3 基板玻璃定位角偏差 单位为毫米 定位角边长 最大允许偏差 ＜3.0 ± 1.0 ≥3.0 ± 1.5 CSTMhQÆQl^Ou( 全国团体标准信息平台 T/CSTM 00410-20 21 3 4.2.4 直角度 基板玻璃直角度的绝对值应不大于0.1%。 4.3翘曲 基板玻璃的翘曲应不大于 0.3 mm。 4.4波纹度 基板玻璃的波纹度应不大于 0.10 m。 4.5密度 基板玻璃的密度应不大于 2.65 g/cm3。 4.6弹性模量 基板玻璃的弹性模量应不小于 78 GPa。 4.7维氏硬度 0.2kgf加载10s，基板玻璃的维氏硬度应不小于 560 kgf/mm2。 4.8平均线热膨胀系数 在20℃～300℃范围内，基板玻璃的平均线热膨胀系数应 (3.2 ~4.0)×10-6/℃。 4.9应变点温度 基板玻璃的应变点 温度应不小于 720 ℃。 4.10再热收缩率 基板玻璃的再热收缩率应不大于 12μm/m。 4.11导热系数 室温下，基板玻璃的导热系数应不小于0.9 W/(m· k)。 4.12体积电阻率 250℃体积电阻率不小于 1014.0Ω·cm； 500℃体积电阻率不小于 109.0Ω·cm。 4.13介电常数 室温，1kHz条件，介电常数不小于 6.0。 4.14介电损耗 室温，1kHz条件，介电损耗不大于0.0030 。 CSTMhQÆQl^Ou( 全国团体标准信息平台 T/CSTM 00410— 2021 4 4.15 550nm透射比 基板玻璃在波长 550nm处的透射比应不小于 90%。 4.16 308nm透射比 用于柔性 OLED显示产品生产，则基板玻璃在波长308nm 处的透射比应不小于70% 。 4.17化学耐久性 基板玻璃的化学耐久性应符合表 4的规定。 表4 化学耐久性 条件 要求 10%HF，在22 ℃温度下浸蚀 20 min 失重≤6.5 mg/cm2 5%HCl，在95 ℃温度下浸蚀 24 h 失重≤0.2 mg/cm2 5%NaOH，在95 ℃温度下浸蚀 6 h 失重≤1.0 mg/cm2 注：所示浓度为质量分数。 4.18碱金属氧化物含量 基板玻璃的碱金属氧化物含量应不大于0.1wt% 。 5试验方法 5.1试验环境 除特殊规定外，试验均应在下述环境条件下进行： 温度：20℃±5oC； 相对湿度：≤ 80%RH。 5.2外观质量 在暗室内采用灯光检验基板玻璃的外观质量。其中，反射光检查时，玻璃表面处光强为 10k Lux、 透射光检查时，玻璃表面处光强为1.5k Lux 。 将试样与水平面夹角呈 75°~ 85°放置，在距 试样300mm处目视检查并记录。如图 1所示。采用精 度为0.05mm的读数显微镜测定点状缺陷、线状缺陷、表面污染、气泡和裂纹的尺寸。 CSTMhQÆQl^Ou( 全国团体标准信息平台 T/CSTM 00410-20 21 5 标引序号说明： 1——光源； 2——观测点。 图1 外观质量检验示意图 5.3尺寸偏差 5.3.1长度偏差及宽度偏差 将试样放置到测量平台上，采用分辨率为 0.1mm的游标卡尺或相同分辨率的非接触式测量仪测量。 5.3.2厚度偏差和厚薄差 随机抽取一片制品作为试样 ，按照图 2所示，以 D点作为测试起点， D点与定位角所在的玻璃边 缘距离小于 10