ICS31-030 L90 中华人民共和国国家标准 GB/T32643—2016 平板显示器基板玻璃表面波纹度的 测量方法 Flatpaneldisplaysglasssubstratessurfacewavinessmeasurementmethod 2016-04-25发布 2016-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会发布 前 言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国工业玻璃和特种玻璃标 准化技术委员会(SAC/TC447)共同归口。 本标准主要起草单位:彩虹集团公司、中国电子技术标准化研究院。 本标准主要起草人:黄宁歌、裴会川、王香、李霜、杨万来。 ⅠGB/T32643—2016 平板显示器基板玻璃表面波纹度的 测量方法 1 范围 本标准规定了使用触针式表面粗糙度测量仪测量平板显示器基板玻璃表面波纹度的测量方法。 本标准适用于测量平板显示器用基板玻璃的表面波纹度。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T32642—2016 平板显示器基板玻璃表面粗糙度的测量方法 3 术语和定义 GB/T32642—2016界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 2CR滤波器 2CRfilter 时间常数相等的2组R-C回路串联连接的滤波器。在截止波长下的标准传输率是75%。 3.2 高斯滤波器 Gaussianphasecorrectfilter 将高斯分布作为权函数,将截面曲线中演算积分后的曲线规定为相位补偿滤波纹度曲线,在截止波 长下的传输率是50%。 3.3 预行程(和后行程) pre-travel(andpost-travel) Lp 为避免由于截止滤光器的瞬态反应而引起的剖面图失真,从示踪长度上减除的部分。 注:建议在示踪长度开始阶段和没有后行程的情况下,用2CR滤波器的预行程应为截止长波长λL的2倍;建议在 使用相位校正滤波器时,预行程和后行程都应该与截止长波长λL相同。 3.4 测定长度 evaluationlength Le 一种扣除预行程和后行程后的迹线长度。测量样品的长度应包含波纹度的剖面曲线长度。 3.5 截止长波长 longwavelengthcut-off λL 排除自然因素,当示踪轮廓曲线通过消除波纹因素影响的高通波长滤波器后,振幅衰减率成为 75%时的波长。 1GB/T32643—2016 3.6 相位校正滤波器 phasecorrectfilter 一种在全剖面曲线图和滤过剖面曲线图之间不引起相位移动的剖面滤波器。在截止波长下的标准 传输率是50%。 4 仪器设备 仪器设备应满足以下要求: a) 触针式表面粗糙度测量仪:尖部半径为2μm~20μm,尖部材质为金刚石材质; b) 剖面滤波器:2CR滤波器或相位校正滤波器。 注:所采用的滤波方法应当确定,因为用相位校正滤波器测定的Wfpd较之用2CR滤波器测得之值小。 5 测量条件 使用下列测量条件: a) 计算规格:ISO-’97规格; b)测量类型:滤波中心线膨胀测量; c)滤波类型:高斯滤波; d)倾斜修正:最小二乘直线修正或最小二乘曲线修正; e)测量长度:30.00mm~100.00mm(30mm用于条纹观测切块测试。整幅测试可设定为100mm); f)截止波长:0.8mm~8mm; g)测量范围:±128.0μm或±64.0μm; h)测量速度:0.30mm/s或0.60mm/s; i)λs滤波器:有; j)截止比:300; k)移动·返回速度:3.00mm/s(可任意设定); l)返回设定:通常测量; m)预留驱动长度:滤波波长/3×2。 6 试样 一块洁净的平板显示器基板玻璃,在荧光灯或白炽灯照射下用肉眼观察,不变形无污物。 7 测量步骤 7.1 取一片待测样品放到触针式表面粗糙度测量仪仪器平台面上,不能弯曲,放置5min或者更长时 间以保证样品与房间温度一致。 7.2 将探针放置于样品上,放置时要求测试探头运动方向与产品流向方向一致或垂直。确定测量位 置,并标识出起始测量位置。 7.3 依次打开控制箱电源、电脑主机电源及测试软件。 7.4 进行各项参数设定并确认。 7.5 按下坐标调节杆调节测量探针与样品表面的起始点完全接触后,进行测量。测试探头沿着样品表 面运动,测量实际轮廓平行面。 2GB/T32643—2016