ICS31-030 L90 中华人民共和国国家标准 GB/T11446.1—2013 代替GB/T11446.1—1997 电 子 级 水 Electronicgradewater 2013-12-31发布 2014-08-15实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会发布 前 言 GB/T11446预计结构如下: ———GB/T11446.1 电子级水; ———GB/T11446.2 (待定); ———GB/T11446.3 电子级水测试方法通则; ———GB/T11446.4 电子级水电阻率的测试方法; ———GB/T11446.5 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法; ———GB/T11446.6 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法; ———GB/T11446.7 电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法; ———GB/T11446.8 电子级水中总有机碳的测试方法; ———GB/T11446.9 电子级水中微粒的仪器测试方法; ———GB/T11446.10 电子级水中细菌总数的滤膜培养测试方法。 本部分为GB/T11446的第1部分。 本部分按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本部分代替GB/T11446.1—1997《电子级水》。 本部分与GB/T11446.1—1997相比,主要有下列变化: ———“3术语和定义”中增加了“离子交换树脂”、“无菌”和“pH”的定义(见第3章); ———修改了“5要求”中“EW-Ⅱ”、“EW-Ⅲ”和“EW-Ⅳ”级水的电阻率指标(见第5章); ———修订了“5要求”中“EW-Ⅰ”、“EW-Ⅱ”、“EW-Ⅲ”和“EW-Ⅳ”级水的微粒数指标(见第5章); ———“5要求”中增加了“铁”和“铅”金属离子及“氟”、“亚硝酸根”和“溴”阴离子的要求和指标(见 第5章); ———“6 试验方法”中增加了“铁”、“铅”、“氟离子”、“亚硝酸根离子”和“溴离子”的检测方法(见 第6章)。 本部分由中华人民共和国工业和信息化部提出。 本部分由中国电子技术标准化研究院归口。 本部分起草单位:信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国科学院半导体研究所、中国电子技 术标准化研究院、中国电子科技集团公司第四十六研究所。 本部分主要起草人:褚连青、王奕、何秀坤、段曙光、提刘旺、刘筠。 本部分所代替标准的历次版本发布情况为: ———GB/T11446.1—1989、GB/T11446.1—1997。 ⅠGB/T11446.1—2013 电 子 级 水 1 范围 GB/T11446的本部分规定了电子级水的级别、技术指标要求、试验方法和检验规则。 本部分适用于电子和半导体工业用高纯清洗用水。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T11446.3—2013 电子级水测试方法通则 GB/T11446.4—2013 电子级水电阻率的测试方法 GB/T11446.5—2013 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法 GB/T11446.6—2013 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法 GB/T11446.7—2013 电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法 GB/T11446.8—2013 电子级水中总有机碳的测试方法 GB/T11446.9—2013 电子级水中微粒的仪器测试方法 GB/T11446.10—2013 电子级水细菌总数的滤膜培养测试方法 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 电子级水 electronicgradewater 电子和半导体工艺过程中所用的高纯水。 3.2 电阻率 resistivity 在规定温度下,1cm3(正立方体)水溶液两相对面之间测得的电阻值。通常用符号ρ表示,单位为 欧姆厘米(Ω·cm),纯水的理论电阻率为18.3MΩ·cm(25℃)。 3.3 全硅 totalsilicon 水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量。 3.4 可溶性硅 solublesilicon 以单一分子状态存在于水中的溶解性硅酸盐。 3.5 微粒性物质 granularmatter 除气体以外,以非液态分散在水中,并形成非均相混合物的物质。 1GB/T11446.1—2013 3.6 总有机碳 totalorganiccarbon;TOC 水中以各种有机物形式存在的碳的总量。包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方法氧 化的有机物。 3.7 吸附 absorption 某些多孔性粒状物质由于表面活性作用而具有吸着某些物质的现象。 3.8 凝聚 coagulation 在源水中加入某种电解质后,水中带有电荷的胶体微粒被电解质中的异种电荷中和,从而使其聚集 成较大颗粒而沉降的现象。 3.9 絮凝 flocculation 水中的微粒在一定条件下相互碰撞而集结为絮状沉淀的现象。絮凝一般是在凝聚作用后缓慢进 行,可除去水中更细的微粒。 3.10 砂滤器 sandfilter 用于盛放不同直径的砂粒,以除去源水中悬浮固体和混浊物的装置。 3.11 活性碳过滤器 activatedcarbonfilter 装有粒状活性碳的过滤器,用于除去水中的可溶性有机物和过量的残余氯。 3.12 离子交换 ionexchange 一种不溶性物质与一种液体之间相互交换离子的可逆过程,该过程中物质并无实质性结构变化。 3.13 离子交换树脂 ion-exchangeresin 一种合成的有机离子交换材料。 3.14 去离子水 deionizedwater 经过离子交换处理,除去了呈离子形式的杂质的高纯水。 3.15 再生 regeneration 离子交换过程操作循环中的一部分。在该部分中,用一定量的化学试剂通过离子交换树脂使其恢 复交换能力。 3.16 复合床 complexbed 将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂分别装入两个离子交换柱中,将两柱串联,使水依次通过两个 柱而被纯化。 3.17 混合床 mixedbed 将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂混合均匀,填充于同一离子交换柱中,其纯化效果相当于许多 复合床串联使用。 2GB/T11446.1—2013