(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210506637.2 (22)申请日 2022.05.11 (71)申请人 广州科欣测控技 术开发有限公司 地址 510000 广东省广州市天河区中山大 道中1020号32 2房 （仅限办公） (72)发明人 杨宏　 (74)专利代理 机构 深圳市致 开百诺鑫知识产权 代理事务所 (普通合伙) 44888 专利代理师 赫坤鹏 (51)Int.Cl. B08B 13/00(2006.01) F16F 15/08(2006.01) (54)发明名称 一种基于防震减震的旋转冲洗设备 (57)摘要 本发明提出一种基于防震减震的旋转冲洗 设备， 包括主体、 第一支撑架、 第二支撑架、 多个 抗震组件、 固定座， 第二支撑架另 一端分别通过 多个抗震组件与固定座上表面形成固定连接， 抗 震组件包括支 撑件、 两个贴合件、 减震环， 支 撑件 上对称设有两个支撑柱， 支撑柱上设有固定槽， 两个支撑柱之间设有环形槽， 贴合件 上设有接触 凸台、 吸音 孔、 多个第一抗震槽， 接触凸台上设有 多个周向均布的支撑凸台、 多个间隔槽； 本发明 采用的第一支撑架、 第二支 撑架将主体进行首尾 支撑， 同时采用多个抗震组件设置在第二支撑架 与固定座之间， 使得主体在运行时不会导致固定 座发生高频抖动而产生较大的噪音； 同时有利于 本基于防震减震的旋转冲洗设备保持静音运作。 权利要求书1页 说明书5页 附图7页 CN 114749453 A 2022.07.15 CN 114749453 A 1.一种基于防震减震的旋转冲洗设备， 其特征在于， 包括主体、 第一支撑架、 第二支撑 架、 多个抗震组件、 固定座， 所述第一支撑架一端固定连接于所述主体一侧， 所述第一支撑 架另一端固定连接于所述固定座上表面， 所述第二支撑架一端与所述主体尾部固定连接， 所述第二支撑架另一端分别通过多个所述抗震组件与所述固定座上表面形成 固定连接， 所 述抗震组件包括支撑件、 两个贴合件、 减震环， 所述支撑件上对称设有两个支撑柱， 所述支 撑柱上设有固定槽， 两个所述贴合件分别与两个所述固定槽一一对应并收容于所述固定槽 内， 两个所述支撑柱之间设有环形槽， 所述减震环固定收容于所述环形槽内， 所述贴合件上 设有接触凸台、 吸音孔、 多个第一抗震槽， 所述吸音孔位于所述接触凸台中部， 多个所述第 一抗震槽 围绕所述吸音孔周向均布， 所述接触凸台上设有多个周向均布的支撑凸台、 多个 周向均布的间隔槽， 一个所述支撑凸台位于 两个所述间隔槽之间。 2.根据权利要求1所述的基于防震减震的旋转冲洗设备， 其特征在于， 所述支撑凸台上 设有多个依次排列的吸附孔。 3.根据权利要求1所述的基于防震减震的旋转冲洗设备， 其特征在于， 所述吸音孔的孔 壁上设有 多个周向均布的吸音槽 。 4.根据权利要求1所述的基于防震减震的旋转冲洗设备， 其特征在于， 所述支撑柱一端 设有用于吸 收震动的吸震环， 所述吸震环上设有 多个错位且周向均布的摆动条。 5.根据权利要求1所述的基于防震减震的旋转冲洗设备， 其特征在于， 所述固定槽外围 设有多个周向均布的第二 抗震槽。 6.根据权利要求1所述的基于防震减震的旋转冲洗设备， 其特征在于， 所述减震环内环 上设有两个第一 缓冲部、 挤压槽， 两个所述第一缓冲部位于所述挤压槽两侧， 所述第一 缓冲 部包括多个依 次排列的第一环形板、 多个依 次排列的第一避让槽， 所述第一避让槽位于相 邻的两个所述第一环形板之间。 7.根据权利要求1所述的基于防震减震的旋转冲洗设备， 其特征在于， 所述减震环外环 上设有用于缓冲的第二缓冲部， 所述第二缓冲部包括多个依 次排列的第二环形板、 多个依 次排列的第二避让槽， 所述第二避让槽位于相邻的两个所述第二环形板之间。 8.根据权利要求1所述的基于防震减震的旋转冲洗设备， 其特征在于， 所述第 一支撑架 包括四个支撑杆、 两个C型支撑板， 两个所述C型支撑板的一侧分别固定连接于所述主体的 两侧， 两个所述支撑杆的一端均固定连接于一个所述C型支撑板上， 所述支撑杆另一端固定 连接于所述固定座上表面。 9.根据权利要求1所述的基于防震减震的旋转冲洗设备， 其特征在于， 所述基于防震减 震的旋转冲洗设备还包括吸音块， 所述固定座上设有安装槽， 所述吸音块固定 收容于所述 安装槽内。 10.根据权利要求9所述的基于防震减震的旋转冲洗设备， 其特征在于， 所述吸音块上 设有吸音部、 吸震部， 所述吸音部位于所述吸震部上方， 所述吸音部上设有多个依次排列的 消音板， 所述消音板 两侧均设有 多个依次排列的消音孔。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114749453 A 2一种基于防震 减震的旋转冲洗设 备 技术领域 [0001]本发明涉及半导体技 术领域， 尤其涉及一种基于防震减震的旋转冲洗设备。 背景技术 [0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。 半导体在集成电路、 消 费电子、 通信系统、 光伏发电、 照明、 大功 率电源转换等领域 都有应用， 如二极管就是采用半 导体制作的器件。 [0003]大部分的电子产品， 如计算机、 移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和 半 导体有着极为密切的关联， 常见的半导体材料有硅、 锗、 砷化镓等， 硅是各种半导体材料应 用中最具有影响力的一种。 [0004]伴随着半导体 的不断发展， 半导体清洗技术也越来越重要； 现有半导体清洗设备 的防震、 减震技术不够完善， 在电机高速运转时， 会产生极大的震动， 而震动则会产生噪音， 而电机带来的震动在长时间运作时则容 易导致整个设备不稳定， 清洗效率低。 [0005]为此， 有必要提出一种基于防震减震的旋转冲洗设备来 解决上述问题。 发明内容 [0006]为了解决上述问题， 本发明提出一种基于防震减震的旋转冲洗设备来解决上述问 题。 [0007]本发明通过以下技 术方案实现的： [0008]本发明提出一种基于防震减震的旋转冲洗设备， 包括主体、 第一支撑架、 第二支撑 架、 多个抗震组件、 固定座， 所述第一支撑架一端固定连接于所述主体一侧， 所述第一支撑 架另一端固定连接于所述固定座上表面， 所述第二支撑架一端与所述主体尾部固定连接， 所述第二支撑架另一端分别通过多个所述抗震组件与所述固定座上表面形成 固定连接， 所 述抗震组件包括支撑件、 两个贴合件、 减震环， 所述支撑件上对称设有两个支撑柱， 所述支 撑柱上设有固定槽， 两个所述贴合件分别与两个所述固定槽一一对应并收容于所述固定槽 内， 两个所述支撑柱之间设有环形槽， 所述减震环固定收容于所述环形槽内， 所述贴合件上 设有接触凸台、 吸音孔、 多个第一抗震槽， 所述吸音孔位于所述接触凸台中部， 多个所述第 一抗震槽 围绕所述吸音孔周向均布， 所述接触凸台上设有多个周向均布的支撑凸台、 多个 周向均布的间隔槽， 一个所述支撑凸台位于 两个所述间隔槽之间。 [0009]进一步的， 所述支撑凸台上设有 多个依次排列的吸附孔。 [0010]进一步的， 所述吸音孔的孔 壁上设有 多个周向均布的吸音槽 。 [0011]进一步的， 所述支撑柱一端设有用于吸收震动的吸震环， 所述吸震环上设有多个 错位且周向均布的摆动条。 [0012]进一步的， 所述固定 槽外围设有 多个周向均布的第二 抗震槽。 [0013]进一步的， 所述减震环内环上设有两个第一缓冲部、 挤压槽， 两个所述第一缓冲部 位于所述挤压槽两侧， 所述第一缓冲部包括多个依 次排列的第一环形板、 多个依 次排列的说　明　书 1/5 页 3 CN 114749453 A 3