(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210509642.9 (22)申请日 2022.05.11 (71)申请人 珠海方正科技多层电路板有限公司 地址 519002 广东省珠海市香洲区前山白 石路107号 申请人 北大方正集团有限公司 (72)发明人 吴振龙　张亚　黄炜　向铖　 (74)专利代理 机构 北京同立钧成知识产权代理 有限公司 1 1205 专利代理师 孙静　黄健 (51)Int.Cl. B08B 7/00(2006.01) B08B 13/00(2006.01) H05K 3/26(2006.01) (54)发明名称 一种印刷线路板的清洗方法 (57)摘要 本发明提供一种印刷线路板的清洗方法， 包 括以下步骤： 1)射频预热处理： 使用氧气和氮气 对清洗腔体进行射频预热处理； 2)等离子体清洗 处理： 使用氩气对清洗腔体中的待清洗印刷线路 板进行等离子体清洗处理。 清洗方法能够在不影 响PCB板的功能性的情况下， 实现对金面污染物 的彻底清除， 并且具有较为优异的安全性能。 权利要求书1页 说明书7页 附图2页 CN 114951148 A 2022.08.30 CN 114951148 A 1.一种印刷线路板的清洗方法， 其特 征在于， 包括以下步骤： 1)射频预热处理： 使用氧气和氮气对清洗腔体进行 所述射频预热处理； 2)等离子体清洗处理： 使用氩气对所述清洗腔体 中的待清洗印刷线路板进行所述等离 子体清洗处 理。 2.根据权利要求1所述的一种印刷线路板的清洗方法， 其特征在于， 经所述射频预热处 理， 所述清洗腔体的温度为 40‑50℃。 3.根据权利要求1或2所述的一种印刷线路板的清洗方法， 其特征在于， 所述氩气的流 量2200‑2600mL/min。 4.根据权利要求1 ‑3任一项所述的一种印刷线路板的清洗方法， 其特征在于， 在所述等 离子体清洗处 理的过程中， 使用射频电源激励氩气形成等离 子体； 其中， 所述 射频电源的功率 为6000‑8000W。 5.根据权利要求1 ‑4任一项所述的一种印刷线路板的清洗方法， 其特征在于， 所述等离 子体清洗处 理的时间为5 ‑10min。 6.根据权利要求1 ‑5任一项所述的一种印刷线路板的清洗方法， 其特征在于， 在所述等 离子体清洗处 理的过程中， 所述清洗腔体的真空度为0.12 ‑0.15Torr。 7.根据权利要求1 ‑6任一项所述的一种印刷线路板的清洗方法， 其特征在于， 在所述等 离子体清洗处 理之后还 包括使用氧气进行排气处 理。 8.根据权利要求7所述的一种印刷线路板的清洗方法， 其特征在于， 在所述排气处理 的 过程中， 所述氧气的流 量为1500‑1700mL/min。 9.根据权利要求1 ‑8任一项所述的一种印刷线路板的清洗方法， 其特征在于， 在所述射 频预热处理的过程中， 射频 预热处理的时间为 4‑6min； 和/或， 射频电源的功率 为6000‑8000W； 和/或， 所述清洗腔体的真空度为0.2 2‑0.26Torr； 和/或， 所述氧气的流 量为600‑1000mL/min； 和/或， 所述氮气的流 量为800‑1200mL/min。 10.根据权利要求7或8所述的一种印刷线路板的清洗方法， 其特征在于， 在所述排气处 理的过程中， 排气处 理的时间为2 ‑4min； 和/或， 射频电源的功率 为5000‑7000W； 和/或， 所述清洗腔体的真空度为0.23 ‑0.27Torr。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114951148 A 2一种印刷线路板的清洗方 法 技术领域 [0001]本发明涉及PCB制造技 术领域， 特别涉及一种印刷线路板的清洗方法。 背景技术 [0002]印制线路板(简称PCB)作为电子元器件的支撑载体， 在5G的推广过程中和芯片的 竞争中都具有不可替代的地位。 现有的PCB板的表面通常都经过电镀镍金处理或化学镍金 处理形成镍金层(金面)， 在生产过程中， PCB板的金面 容易受到污染而呈现发红现象。 [0003]业界通常采用人工橡皮擦拭或药水浸泡以解决金面发红的问题。 其中， 采用人工 橡皮擦拭不仅浪费人力物力， 而且采用人工橡皮擦拭容易摩擦金面， 导致金面损伤， 影响 PCB板的功能性； 采用药水浸泡的方式会导致金面以外的防焊油墨褪色， 影响PCB板的功能 性。 [0004]为了解决上述问题， 业界开始使用等离子体清洗方法对PCB 板进行清洗， 通常向清 洗腔体中通入至少包含氢气的气体体系， 使该气体体系在射频电源的激励下形成等离子 体， 利用该等离子体对P CB板进行清洗， 然而由于氢气具有 可燃性， 容易 发生爆炸， 存在安全 隐患。 发明内容 [0005]本发明提供一种印刷线路板 的清洗方法， 该清洗方法能够在不影响PCB板 的功能 性的情况 下， 实现对金面污染物的彻底 清除， 并且具有较为优异的安全性能。 [0006]本发明提供一种印刷线路板的清洗方法， 其中， 包括以下步骤： [0007]1)射频预热处理： 使用氧气和氮气对清洗腔体进行 所述射频预热处理； [0008]2)等离子体清洗处理： 使用氩气对所述清洗腔体中的待清洗印刷线路板进行所述 等离子体清洗处 理。 [0009]如上所述的一种印刷线路板的清洗方法， 其中， 经所述射频预热处理， 所述清洗腔 体的温度为 40‑50℃。 [0010]如上所述的一种印刷线路板的清洗方法， 其中， 所述氩气的流量2200 ‑2600mL/ min。 [0011]如上所述的一种印刷线路板清洗方法， 其中， 在所述等离子体清洗处理的过程中， 使用射频电源激励氩气形成等离 子体； [0012]其中， 所述 射频电源功率 为6000‑8000W。 [0013]如上所述的一种印刷线路板 的清洗方法， 其中， 所述等离子体清洗处理的时间为 5‑10min。 [0014]如上所述的一种印刷线路板 的清洗方法， 其中， 在所述等离子体清洗处理的过程 中， 所述清洗腔体的真空度为0.12 ‑0.15Torr。 [0015]如上所述的一种印刷线路板 的清洗方法， 其中， 在所述等离子体清洗处理之后还 包括使用氧气进行排气处 理。说　明　书 1/7 页 3 CN 114951148 A 3