(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210446067.2 (22)申请日 2022.04.26 (71)申请人 中环领先半导体材 料有限公司 地址 214200 江苏省无锡市宜兴经济技 术 开发区东氿大道 (72)发明人 刘姣龙　刘建伟　邓欢　蒋文斌　 李苏峰　秦岩松　 (74)专利代理 机构 苏州高专知识产权代理事务 所(特殊普通 合伙) 32474 专利代理师 冷泠 (51)Int.Cl. B08B 3/08(2006.01) B08B 5/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种减薄载台的清洗方法 (57)摘要 本发明公开了一种减薄载台的清洗方法， S1、 调配清洁液， 取一个容器， 将界/表面活性剂 与纯水按照一定比例倒入容器混合， 得到清洁 液； S2、 减薄载台开启真 空吸附功能， 将步骤S1中 的清洁液均匀倒到减薄载台， 直到减薄载台无法 吸附为止， 此时减薄载台浸泡在清洁液中一段时 间； S3、 开启吹气、 吹水功能， 通过装置将减薄载 台表面及陶瓷孔内的杂质吹出并清洗干燥， 水量 与气量调整到最大值， 连续净化一段时间。 本发 明解决了减薄载台长期加工过程中杂质沉积堵 塞的问题， 降低硅片Di mple率， 提高产品良率。 同 时， 本发明不用停线拆装减薄载台， 直接在线清 洗， 大大提高了生产效率。 权利要求书1页 说明书2页 CN 114850113 A 2022.08.05 CN 114850113 A 1.一种减薄载台的清洗方法， 其特 征在于， 包括以下步骤： S1、 调配清洁液， 取一个容器， 将界/表面活性剂与纯水按照一定比例倒入容器混合， 得 到清洁液； S2、 减薄载台开启真空吸附功能， 将步骤S1中的清洁液均匀倒到减薄载台， 直到减薄载 台无法吸附为止， 此时减薄载台浸泡在清洁液中一段时间； S3、 开启吹气、 吹水功能， 通过装置将减薄载台表面及陶瓷孔内的杂质吹出并清洗干 燥， 水量与气量调整到最大值， 连续净化 一段时间。 2.根据权利要求1所述的减薄载台的清洗方法， 其特征在于： 清洁液配比为界/表面活 性剂： 纯水＝:10～1:15； 界/表面活性剂为日化精工株式会社生产的界/表面C 。 3.根据权利要求1所述的减薄载台的清洗方法， 其特 征在于： 容器为5 000ml量杯。 4.根据权利要求1所述的减薄载台的清洗方法， 其特征在于： 浸泡时间最佳为10 ‑30分 钟。 5.根据权利要求1所述的减薄载台的清洗方法， 其特 征在于： 净化时间最佳为1 ‑2小时。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114850113 A 2一种减薄载台的清洗方 法 技术领域 [0001]本发明涉及半导体技 术领域， 具体为 一种减薄载台的清洗方法。 背景技术 [0002]硅片放在减薄载台上进行减薄研磨， 减薄载台设有若干陶瓷孔， 会吸附杂质进去， 减薄载台内的杂质仅通过自净化无法清洁干净， 从而减薄研磨过程中， 杂质会造成硅片产 生小坑(Dimple)， 原有的清洗方式是停线， 将减薄载台拆下来， 光拆除就需要6小时， 然后用 酒精浸泡， 再用气枪对陶瓷孔进行按个吹气排除杂质， 整个过程需要重复2 ‑3次， 然后再将 减薄载台重新 安装调试， 安装后再 净化， 整个过程需要至少5 0个小时， 严重影响生产进度。 发明内容 [0003]本发明提供了一种减薄载台的清洗方法。 [0004]一种减薄载台的清洗方法， 其特 征在于， 包括以下步骤： [0005]S1、 调配清洁液， 取一个容器， 将界/表面活性剂与纯水按照一定比例倒入容器混 合， 得到清洁液； [0006]S2、 减薄载台开启真空吸附功能， 将步骤S1中的清洁液均匀倒到减薄载台， 直到减 薄载台无法吸附为止， 此时减薄载台浸泡在清洁液中一段时间； [0007]S3、 开启吹气、 吹水功能， 通过装置将减薄载台表面及陶瓷孔内的杂质吹出 并清洗 干燥， 水量与气量调整到最大值， 连续净化 一段时间。 [0008]优选的， 清洁液配比为界/表面活性剂： 纯水＝:10～1:15； 界/表面活性剂为日化 精工株式会社生产的界/表面C 。 [0009]优选的， 容器为5 000ml量杯。 [0010]优选的， 浸泡时间最佳为10 ‑30分钟。 [0011]优选的， 净化时间最佳为1 ‑2小时。 [0012]与现有技术相比， 本发明的有益效果是： 解决了减薄载台长期加工过程中杂质沉 积堵塞的问题， 降低硅片Dimple率， 提高产品良率。 同时， 本发 明不用停线拆装减薄载台， 直 接在线清洗， 大 大提高了生产效率。 具体实施方式 [0013]下面对本发明实施例中的技 术方案进行清楚、 完整地描述。 [0014]一种减薄载台的清洗方法， 包括以下步骤： [0015]S1、 调配清洁液， 取一个容器， 将界/表面活性剂与纯水按照一定比例倒入容器混 合， 得到清洁液； 清洁液配比为界/表面活性剂： 纯水＝1:10～1:15； 界/表面活性剂为日化 精工株式会社生产的界/表面C 。 容器为5 000ml量杯。 [0016]S2、 减薄载台开启真空吸附功能， 将步骤S1中的清洁液均匀倒到减薄载台， 直到减 薄载台无法吸附为止， 此时减薄载台浸泡在清洁液中一段时间， 浸泡时间最佳为10 ‑30分说　明　书 1/2 页 3 CN 114850113 A 3