(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 20221048191 1.5 (22)申请日 2022.05.05 (71)申请人 智程半导体设备 科技 （昆山） 有限公 司 地址 215316 江苏省苏州市昆山市玉山 镇 玉杨路299号3号房 (72)发明人 孙先淼　吴求　 (74)专利代理 机构 西安智财全知识产权代理事 务所(普通 合伙) 6127 7 专利代理师 张鹏 (51)Int.Cl. B08B 3/04(2006.01) B08B 13/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)发明名称 一种具有监测功能的 晶圆清洗设备 (57)摘要 本发明公开了一种具有监测功能的晶圆清 洗设备， 属于晶圆清洗设备技术领域， 包括稳定 机构、 接通管、 切换机构、 管路 组、 遮挡机构、 传动 机构、 连通管和清洗容器稳定机构内装有晶圆， 稳定机构内设置有阻尼组件， 通过阻尼组件对运 送过程起到稳定作用， 稳定机构放置在清洗容器 内， 接通管内装有待清洗的晶圆， 清洗容器下侧 安装有接通管， 接通管与传动机构连接， 管路组 安装在清洗容器内侧， 遮挡机构安装在管路组 上， 传动机构为遮挡机构 的运动提供动力， 连通 管安装在传动机构上， 通过连通管向管路组内注 入药液， 清洗容器侧面装有转速检测仪用来检测 连通管的转速， 切换机构安装在连通管上， 通过 切换机构实现控制药液是否能从连通管流入管 路组中。 权利要求书2页 说明书6页 附图12页 CN 115518933 A 2022.12.27 CN 115518933 A 1.一种具有监测功能的晶圆清洗设备， 包括， 连通管(7)和清洗容器(8)， 其特征在于： 还包括切换机构(3)和传动机构(6)， 所述的清洗容器(8)内侧安装有管路组(4)， 所述的管 路组(4)与连通管(7)连通， 清洗药液通过连通管(7)流入管路组(4)中， 管路组(4)外表 面设 置有出水口， 所述的切换机构(3)侧面安装有接通管(2)， 接通管(2)内安装有活塞结构， 所 述的接通管(2)与传动机构(6)连接， 通过清洗容器(8)内的药液推动接通管(2)内的活塞结 构为传动机构(6)提供动力来源， 传动机构(6)与遮挡机构(5)连接， 传动机构(6)带动遮挡 机构(5)将管路组(4)的出 水口遮挡住； 所述的切换机构(3)设置有连接短管(301)和弹簧杆(302)， 所述的管路组(4)设置有十 字管(401)； 所述的弹簧杆(302)由一段竖轴和一个 半球形突起构成， 弹簧杆(302)竖轴外表 面安装有弹性部件一； 弹簧杆(302)的半球形突起焊接在竖轴上侧， 所述的连接短管(301) 由一段圆筒和一块挡片焊接而成， 连接短管(301)圆筒固定安装在十字管(401)侧面， 药液 从十字管(401)流入管路组(4)内， 连接短管(301)挡片侧面转动安装在连通管(7)侧面， 弹 簧杆(302)的半球形突起滑动安装在连接短管(301)挡片靠近连通管(7)的侧面， 所述的连 通管(7)靠近连接短管(301)挡片的一端设置有半圆形孔洞， 弹簧杆(302)半球形突起与连 接短管(301)圆筒内壁直径相等， 通过弹性部件一带动弹簧杆(302)半球形突起运动， 通过 弹簧杆(302)半球形突起的运动与连接短管(301)圆筒结构的配合实现控制药液是否能从 连通管(7)流入管路组(4)中。 2.根据权利要求1所述的一种具有监测 功能的晶圆清洗设备， 其特征在于： 所述的弹簧 杆(302)的半球形突 起与连通管(7)的半圆形孔洞半径相等。 3.根据权利要求2所述的一种具有监测 功能的晶圆清洗设备， 其特征在于： 所述的连通 管(7)的半圆形孔洞与连接短管(301)挡片相接， 所述的连通管(7)转动安装在连接短管 (301)挡片侧面。 4.根据权利要求3所述的一种具有监测功能的晶圆清洗设备， 其特征在于： 当连通管 (7)的半圆形孔洞与弹簧杆(302)的半球形突起相通时， 在弹簧杆(302)的弹性部件一的作 用下弹簧杆(302)进入连通管(7)内部， 当弹性部件一稳定时弹簧杆(302)的半球形突起与 连接短管(3 01)的圆筒同轴心， 进 而实现将连接短管(3 01)的圆筒封闭。 5.根据权利要求1所述的一种具有监测 功能的晶圆清洗设备， 其特征在于： 所述的连通 管(7)的内壁直径大于连接短管(301)圆筒内壁直径， 所述的连通管(7)的外壁直径小于连 接短管(3 01)挡片直径。 6.根据权利要求5所述的一种具有监测 功能的晶圆清洗设备， 其特征在于： 所述的十字 管(401)由四段直径相等的圆筒焊接成十字形状， 所述的连接 短管(301)圆筒内壁直径小于 十字管(401)圆筒内壁 直径， 所述的十 字管(401)的四段圆筒相互贯 通。 7.根据权利要求6所述的一种具有监测 功能的晶圆清洗设备， 其特征在于： 所述十字管 (401)的一段圆筒被封堵住， 十字管(401)一段圆筒与双排孔管(402)连通， 十字管(401)一 段圆筒与单排 孔管(404)连通。 8.根据权利要求7所述的一种具有监测 功能的晶圆清洗设备， 其特征在于： 所述的双排 孔管(402)外表面设置有两段 出水口， 所述的单排 孔管(404)设置有一段 出水口。 9.根据权利要求8所述的一种具有监测 功能的晶圆清洗设备， 其特征在于： 所述的双排 孔管(402)和单排孔管(404)的出水孔是倾斜的， 所述的双排孔管(402)和单排孔管(404)的权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115518933 A 2出水孔朝向清洗容器(8)中心位置倾 斜。 10.根据权利要求1所述的一种具有监测功能的晶圆清洗设备， 其特征在于： 清洗容器 (8)侧面装有转速检测仪， 转速检测仪用来检测连通管(7)的转速， 通过检测连通管(7)的转 速判断清洗容器(8)是否有破损处。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115518933 A 3