(19)国家知识产权局 (12)发明 专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202210568225.1 (22)申请日 2022.05.24 (65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 114653664 A (43)申请公布日 2022.06.24 (73)专利权人 沈阳和研科技有限公司 地址 110000 辽宁省沈阳市皇姑区步云山 路53号 (72)发明人 袁慧珠　张明明　杨盛　刘苏阳　 石文　徐双双　 (74)专利代理 机构 安徽明至知识产权代理事务 所(特殊普通 合伙) 34183 专利代理师 时阳 (51)Int.Cl. B08B 3/04(2006.01)B08B 13/00(2006.01) B01D 29/01(2006.01) 审查员 高萍 (54)发明名称 一种具有接料保护结构的底部冲洗装置 (57)摘要 本发明涉及半导体生产技术领域， 具体是一 种具有接 料保护结构的底部冲洗装置， 包括清洗 腔、 料盒及防水帘及接料保护结构， 所述清洗腔 顶部设有进料口、 底部设有出料口， 所述料盒固 接在所述清洗腔内， 所述料盒为漏斗形多孔钣 金， 所述料盒左右行程均全覆盖进料口， 所述防 水帘位于 所述料盒下方， 且所述防水帘固接在所 述清洗腔上； 本发明提供的具有接料保护结构的 底部冲洗装置在底部设置壳体用于对筛网进行 安装， 在壳体内设置接料保护结构以对筛网上半 导体的积累量进行判断， 以确定筛网需要进行清 理。 权利要求书1页 说明书5页 附图11页 CN 114653664 B 2022.08.16 CN 114653664 B 1.一种具有接料保护结构的底部冲洗装置， 其特征在于， 包括清洗腔 （1） 、 料盒 （2） 及防 水帘 （3） 及接料保护结构， 所述清洗腔 （1） 顶部设有进料口、 底部设有出料口， 所述料盒 （2） 固接在所述清洗腔 （1） 内， 所述料盒 （2） 为漏斗形多孔钣 金， 所述料盒 （2） 左右行程均全覆盖 进料口， 所述防水帘 （3） 位于所述料盒 （2） 下 方， 且所述防水帘 （3） 固接在所述清洗腔 （1） 上； 所述接料保护结构包括壳体 （4） 及环形的筛网 （25）， 所述壳体 （4） 上开设有进水口 （401） ， 所述进水口 （401） 与所述清洗腔 （1） 的出料口连通， 所述壳体 （4） 底部一侧开设有排 水口 （403） ， 另一侧开设有物料出口 （402） ， 所述筛网 （25） 通过转动 结构可转动的安装在所 述壳体 （4） 内， 所述壳体 （4） 内设有驱动结构， 以根据所述筛网 （25） 上物料数量控制所述筛 网 （25） 转动； 所述转动结构包括链轮 （404） 及环形的链条 （26） ， 所述链条 （26） 固接在所述筛网 （25） 上， 所述链轮 （404） 可转动的安装在所述壳体 （4） 内部两侧上， 所述链条 （26） 与所述链轮 （404） 相配合， 相邻的链轮 （404） 之间通过皮带 （405） 联动， 所述壳体 （4） 内壁上可转动的安 装有驱动轮 （40 6） ， 所述驱动轮 （40 6） 与所述皮带 （40 5） 相配合； 所述驱动结构包括安装板 （5） 、 复位弹簧 （6） 、 挡水板 （7） 、 第一转轴 （8） 、 第二转轴 （9） 、 第一单向轴承 （12） 及 齿轮 （13） ， 所述安装板 （5） 固接在所述壳体 （4） 内部， 且所述安装板 （5） 位于所述筛网 （25） 内部， 所述挡水板 （7） 位于所述筛网 （25） 内部， 所述复位弹簧 （6） 一端固 接在所述安装板 （5） 上， 另一端固接在所述挡水板 （7） 上， 所述第二转轴 （9） 一端固接在所述 驱动轮 （406） 上， 另一端固接有发条盒 （10） ， 所述第一转轴 （8） 可转动的安装在所述发条盒 （10） 内， 所述发条盒 （10） 内同轴线设置有发条 （11） ， 所述发条 （11） 一端 固接在所述发条盒 （10） 内壁上， 另一端固接在所述第一转轴 （8） 上， 所述第一单向轴承 （12） 安装在所述第一转 轴 （8） 上， 所述齿轮 （13） 安装在所述第一单向轴承 （12） 上， 所述挡水板 （7） 上固接有齿条 （16） ， 所述齿条 （16） 与所述齿轮 （13） 相匹配。 2.根据权利要求1所述的具有接料保护结构的底部冲洗装置， 其特征在于， 所述挡水板 （7） 上设有控制结构， 以控制所述发条盒 （10） 的转动与否 。 3.根据权利要求2所述的具有接料保护结构的底部冲洗装置， 其特征在于， 所述控制结 构包括刹车块 （17） 、 连杆 （18） 、 滑套 （19） 、 滑杆 （20） 及限位块 （21） ， 所述滑杆 （20） 固接在所 述挡水板 （7） 上， 所述限位块 （21） 固接在所述滑杆 （20） 上， 所述滑套 （19） 可滑动的配合在所 述滑杆 （20） 上， 所述连杆 （18） 一端 固接在所述刹车块 （17） 上， 另一端 固接在所述滑套 （19） 上， 所述刹车块 （17） 与所述发条盒 （10） 之间具有相吸的磁力。 4.根据权利要求2或3所述的具有接料保护结构的底部冲洗装置， 其特征在于， 所述安 装板 （5） 上设有清理结构， 以对所述筛网 （25） 的筛孔进行清理。 5.根据权利要求4所述的具有接料保护结构的底部冲洗装置， 其特征在于， 所述清理结 构包括第二单向轴承 （14） 、 第一锥齿轮 （15） 及内螺纹管 （22） ， 所述第二单向轴承 （14） 安装 在所述齿轮 （13） 上， 所述第一锥齿轮 （15） 安装在所述第二单向轴承 （14） 上， 所述内螺纹管 （22） 可转动的安装在所述安装板 （5） 上， 所述内螺纹管 （22） 一端固接有第二锥齿轮， 所述第 二锥齿轮与所述第一锥齿轮 （15） 相匹配， 所述内螺纹管 （22） 内螺接有往复螺杆 （23） ， 所述 往复螺杆 （23） 上固接有弧形的顶板 （24） 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114653664 B 2一种具有接 料保护结构的底部冲洗装 置 技术领域 [0001]本发明涉及半导体生产技术领域， 尤其涉及一种具有接料保护结构的底部冲洗装 置。 背景技术 [0002]半导体行业切割完的工件需要进行清洗处理， 才能达到下一步图像识别所需的光 洁度， 清洗过程为了保证效果， 普遍采用大冲击力的水气或者二流体， 这样 便会导致部 分工 件吸附不牢掉落， 为了降低这样带来的损失， 所以掉料都会进 行收集， 现有设备普遍收集方 法比较简单， 在废水收集箱的底部铺设筛网， 由于部 分半导体会受到光电效应的影响， 废水 收集箱通常是 由不透明的材料制成， 以防止半导体受到光线的照射， 这也导致工人无法直 接观测到筛网上半导体的积累状况， 一般情况下都是根据经验来判断筛网上半导体的积累 量， 再确定是否对筛网上半导体进行清理收集， 在实 践中存在极易出现误判。 发明内容 [0003]本发明的目的是为了解决现有技术中存在人工判断筛网上半导体的积累量易出 现误判的缺 点， 而提出的一种具有接料保护结构的底部冲洗装置 。 [0004]为了实现上述目的， 本发明采用了如下技 术方案： [0005]设计一种具有接料保护结构的底部冲洗装置， 包括清洗腔、 料盒及防水帘及接料 保护结构， 所述清洗腔顶部设有进料 口、 底部设有出料口， 所述料盒固接在所述清洗腔内， 所述料盒为漏斗形多孔钣金， 所述料盒左右行程均全覆盖进料口， 所述防水帘位于所述料 盒下方， 且所述防水帘固接在所述清洗腔上； [0006]所述接料保护结构包括壳体及环形的筛网， 所述壳体上开设有进水口， 所述进水 口与所述清洗腔的出料口连通， 所述壳体底部一侧开设有排水口， 另一侧开设有物料出口， 所述筛网通过转动结构可转动的安装在所述壳体内， 所述壳体内设有驱动结构， 以根据所 述筛网上物料 数量控制所述筛网转动。 [0007]进一步地， 所述转动结构包括链轮及环形的链条， 所述链条固接在所述筛网上， 所 述链轮可转动的安装在所述壳体内部两侧上， 所述链条与所述链轮相配合， 相邻的链轮之 间通过皮带 联动， 所述壳体内壁上 可转动的安装有驱动轮， 所述驱动轮与所述皮带相配合。 [0008]进一步地， 所述驱动结构包括安装板、 复位弹簧、 挡水板、 第一转轴、 第二转轴、 第 一单向轴承及 齿轮， 所述安装板固接在所述壳体内部， 且所述安装板位于所述筛网内部， 所 述挡水板位于所述筛网内部， 所述复位弹簧一端固接在所述安装板上， 另一端固接在所述 挡水板上， 所述第二转轴一端固接在所述驱动轮上， 另一端固接有发条盒， 所述第一转轴可 转动的安装在所述发条盒内， 所述发条盒内同轴线设置有发条， 所述发条一端固接在所述 发条盒内壁上， 另一端固接在所述第一转轴上， 所述第一单向轴承安装在所述第一转轴上， 所述齿轮安装在所述第一单向轴承上， 所述挡 水板上固接有齿条， 所述齿条与所述齿轮相 匹配。说　明　书 1/5 页 3 CN 114653664 B 3