(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222120307.8 (22)申请日 2022.08.12 (73)专利权人 惠晶显示科技(苏州)有限公司 地址 215613 江苏省苏州市张家港市凤 凰 镇凤凰大道9号 (72)发明人 张光齐　 (74)专利代理 机构 湖北融创智行知识产权代理 事务所(普通 合伙) 42308 专利代理师 张旭超 (51)Int.Cl. B01D 46/56(2022.01) B01D 46/88(2022.01) B01D 46/10(2006.01) B01D 46/42(2006.01) B08B 5/04(2006.01) (54)实用新型名称 一种镀膜腔体破真空过滤装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种镀膜腔体破真空过 滤装置， 包括镀膜腔体， 所述镀膜腔体的顶部固 定装设有两个进气管， 一个所述进气管上装设有 第一调节阀， 另一个所述进气管上固定装设有第 二调节阀， 所述第一调节阀与第二调节阀并联连 通装设在所述镀膜腔体上， 当第一调节阀与第二 调节阀使用调节时； 通过在该装置的镀膜腔体的 一端设置用于过滤空气的滤芯， 通过空气滤芯过 滤空气中的颗粒物， 再通过调节阀控制空气吸入 量大小， 能有效控制产品在镀膜腔体内部瞬间吸 入空气压力， 减少瞬间气压， 同时减少产品破片 风险， 且在该装置的管路的一端设置有进气罩， 同时设置的进气罩上的网板通过卡设安装， 网板 可将大颗粒杂物过滤， 方便进行拆装清理。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 218107133 U 2022.12.23 CN 218107133 U 1.一种镀膜腔体破真空过滤装置， 包括镀膜腔体 （6） ， 其特征在于： 所述镀膜腔体 （6） 的 顶部固定装设有两个进气管， 一个所述进气管上装设有第一调节阀 （4） ， 另一个所述进气管 上固定装设有第二调节阀 （5） ， 所述第一调节阀 （4） 和第二调节阀 （5） 的另一端连接装设有 管路 （11） ， 且所述第一调节阀 （4） 和第二调节阀 （5） 的另一端装设有三通， 两个所述进气管 的另一端通过三通与管路 （11） 连接， 所述管路 （11） 的一端固定装设有法兰盘 （3） ， 所述管路 （11） 的另一端固定装设有第二滤芯 （1） ， 且 所述管路 （11） 上位于所述第二滤芯 （1） 的另一端 连接装设有第一滤芯 （2） 。 2.根据权利要求1所述的一种镀膜腔体破真空过滤装置， 其特征在于： 所述第一滤芯 （2） 的另一端固定装设有进气罩 （7） ， 所述进气罩 （7） 上一体式成型有螺纹座 （10） ， 所述进气 罩 （7） 通过螺纹座 （10） 旋设安装在所述第一滤芯 （2） 的另一端， 且所述进气罩 （7） 的一侧表 面装设有网板 （8） ， 所述进气罩 （7） 的一侧边缘处设置有一体式的卡块 （9） ， 所述网板 （8） 通 过卡块 （9） 卡设安装在所述进气罩 （7） 的表面。 3.根据权利要求2所述的一种镀膜腔体破真空过滤装置， 其特征在于： 所述进气罩 （7） 的整体为漏斗形 结构。 4.根据权利要求2所述的一种镀膜腔体破真空过滤装置， 其特征在于： 所述进气罩 （7） 的表面对称设置有两个一体式的所述 卡块 （9） 。 5.根据权利要求2所述的一种镀膜腔体破真空过滤装置， 其特征在于： 所述螺纹座 （10） 的内壁上开设有内螺纹， 所述螺纹座 （10） 通过内螺纹旋设固定 。 6.根据权利要求1所述的一种镀膜腔体破真空过滤装置， 其特征在于： 所述第二滤芯 （1） 与第一滤芯 （2） 装设在同一个所述管路 （11） 上， 且所述第二滤芯 （1） 与第一滤芯 （2） 串 联 装设。 7.根据权利要求1所述的一种镀膜腔体破真空过滤装置， 其特征在于： 所述第 一调节阀 （4） 与第二调节阀 （5） 并联 连通装设在所述镀膜腔体 （6） 上。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218107133 U 2一种镀膜腔体破真空过滤装 置 技术领域 [0001]本实用新型属于真空过滤装置技术领域， 具体涉及一种镀膜腔体破真空过滤装 置。 背景技术 [0002]真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术， 在真空室内材料的原子从加热 源离析出来打到被镀物体的表面上。 此项技术最先用于生产光学镜片， 如航海望远镜镜片 等； 后延伸到其他功能薄膜， 唱片 镀铝、 装饰镀膜和材料表面改性等， 如手表外壳镀仿金色， 机械刀具镀膜， 改变加工红硬性。 真空镀膜有三种形式， 即蒸发镀膜、 溅射镀膜和离子镀， ITO真空镀膜是手机行业流行趋势， 玻璃产品在真空镀膜机内因瞬间充入大气， 大气表 面浮 尘对镀膜 膜质有一定影响。 [0003]现有的镀膜腔体， 通常在真空镀膜腔体从真空状态下达到大气压状态时， 镀膜腔 体内吸入的空气中含有较多的浮尘等杂质， 若空气中浮尘较多， 气体在瞬间涌入腔 体内时， 会导致产品表面灰尘较多的同时， 提高破片的风险的问题， 为此我们提出一种镀膜腔体破 真空过滤装置。 发明内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种镀膜腔体破真空过滤装置， 以解决上述背景技术 中提出的现有的镀膜腔体， 从真空状态下达到大气压状态 时， 镀膜腔体内吸入的空气 中含 有较多的浮尘等杂质， 若空气中浮尘较多， 气 体在瞬间涌入腔体内时， 会导致产品表面灰尘 较多的同时， 提高破片的风险的问题。 [0005]为实现上述目的， 本 实用新型提供如下技术方案： 一种镀膜腔体破真空过滤装置， 包括镀膜腔体， 所述镀膜腔体的顶部固定装设有两个进气管， 一个所述进气管上装设有第 一调节阀， 另一个所述进气管上固定装设有第二调节阀， 所述第一调节阀与第二调节阀并 联连通装设在所述镀膜腔体上， 当第一调节阀与第二调节阀使用 调节时， 可单独转动均可 对进入的气量进行调节， 从而更好的使用， 所述第一调节阀和第二调节阀的另一端连接装 设有管路， 且所述第一调节阀和第二调节阀的另一端装设有三通， 两个所述进气管 的另一 端通过三通与管路连接， 所述管路的一端固定装设有法兰盘， 所述管路的另一端固定装设 有第二滤芯， 且所述管路上位于所述第二滤芯的另一端连接装设有第一滤芯， 所述第二滤 芯与第一滤芯装设在同一个所述管路上， 且所述第二滤芯与第一滤芯串联装设， 气体在进 入时， 会先通过第一滤芯然后在 进入第二滤芯， 通过不同的过滤直径， 更好的过滤气体中的 浮尘。 [0006]优选的， 所述第一滤芯的另一端固定装设有进气罩， 所述进气罩的整体为漏斗形 结构， 方便吸入空气， 且更大 的一端进气， 可防止更好的放置堵塞， 所述进气罩上一体式成 型有螺纹座， 所述螺纹座的内壁上开设有内螺纹， 所述螺纹座通过内螺纹旋 设固定， 旋 设结 构更好的密封固定， 所述进气罩通过螺纹座安装在所述第一滤芯的另一端， 且所述进气罩说　明　书 1/3 页 3 CN 218107133 U 3