(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222122873.2 (22)申请日 2022.08.12 (73)专利权人 派珂纳米科技 （苏州） 有限公司 地址 215000 江苏省苏州市工业园区东 富 路32号4幢408室 (72)发明人 渠艳良　李雷　 (74)专利代理 机构 苏州创策知识产权代理有限 公司 3232 2 专利代理师 李菲菲 (51)Int.Cl. C23C 14/56(2006.01) B01D 46/10(2006.01) B01D 46/88(2022.01) (54)实用新型名称 一种真空镀膜机的抽气机构 (57)摘要 本实用新型涉及镀膜机抽气技术领域， 且公 开了一种真空镀膜机的抽气机构， 包括镀膜机主 体和过滤装置， 所述镀膜机主体的顶端固定连接 有支撑架， 所述支撑架的顶端设置有真空泵， 所 述真空泵的外侧固定连接有吸气管， 所述镀膜机 主体的外侧开设有安装槽， 启 动真空泵， 真空泵 通过吸气管将抽气槽内部的气体吸出， 当抽气槽 内部的气体减少时， 镀膜机主体内部的气压大于 抽气槽的气压， 配合真空泵的吸力， 从而将卡块 顶起， 通过真空泵对抽气槽以及镀膜机主体内部 的气体吸出， 从而使镀膜机主体的内部形成真空 空间， 当真空泵停止工作后， 由于抽气槽与镀膜 机主体的内部压力相同， 此时在复原弹簧的弹性 下将卡块与吸气口卡接， 从而使镀膜机主体的内 部实现密封 。 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 CN 218146923 U 2022.12.27 CN 218146923 U 1.一种真空镀膜机的抽气机构， 包括镀膜机主体(1)和过滤装置(2)， 其特征在于： 所述 镀膜机主体(1)的顶端固定连接有支撑架(3)， 所述支撑架(3)的顶端设置有真空泵(4)， 所 述真空泵(4)的外侧固定连接有吸气管(5)， 所述镀膜机主体(1)的外侧开设有安装槽(6)， 所述镀膜机主体(1)的内部开设有抽气槽(7)， 所述抽气槽(7)的底部开设有吸气口(8)， 所 述抽气槽(7)的底部开设有限位槽(9)， 所述限位槽(9)的内部滑动连接有滑杆(10)， 所述滑 杆(10)的外侧固定连接有连接板(11)， 所述连接板(11)的底端 固定连接有连接块(12)， 所 述连接块(12)的底端固定连接有卡块(13)， 所述卡块(13)的外侧边角固定连接有密封圈 (14)， 所述滑杆(10)的外侧设置有复原弹簧(15)， 所述抽气槽(7)的内侧开设有滑槽(16)。 2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的抽气机构， 其特征在于： 所述过滤装置(2) 包括过滤箱(21)， 所述过滤箱(21)的顶端设置有过滤网(22)， 所述过滤箱(21)的内部固定 连接有连接杆(23)， 所述连接杆(23)的外侧转动连接有小门(24)， 所述过滤箱(21)的两侧 固定连接有滑块(25)， 所述过 滤箱(21)的外侧固定连接有把手(26)。 3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的抽气机构， 其特征在于： 所述吸气口(8)的 外侧边角固定连接有密封圈(14)。 4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的抽气机构， 其特征在于： 所述复原弹簧(15) 的一端固定连接在抽气槽(7)的底部， 另一端与连接 板(11)的底端固定连接 。 5.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机的抽气机构， 其特征在于： 所述小门(24)通过 扭力弹簧与连接杆(23)转动连接 。 6.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机的抽气机构， 其特征在于： 所述小门(24)的外 侧设置为过 滤网(22)。 7.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机的抽气机构， 其特征在于： 所述过滤装置(2) 通过滑块(25)在滑槽(16)的内部滑动连接 。 8.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的抽气机构， 其特征在于： 所述吸气口(8)与 卡块(13)的形状为锥形。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218146923 U 2一种真空镀膜机的抽气机构 技术领域 [0001]本实用新型 涉及镀膜机抽气技 术领域， 具体为 一种真空镀膜机的抽气机构。 背景技术 [0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜， 真空镀膜机在工作的时 候， 需要通过真空泵将真空室内的气体抽走， 使真空室内持续处于负 压真空状态， 从而进 行 镀膜工作， 真空的环境可以保证镀膜的质量 [0003]镀膜室进行抽气真空操作完成后， 无法快速封闭排气口， 排气口密封性不足容易 出现漏气现象， 影响设备的使用效果， 而且镀膜使会产生一些细 小颗粒， 被真空泵吸入后会 导致真空泵损坏。 实用新型内容 [0004]针对现有技术的不足， 本实用新型提供了一种真空镀膜机 的抽气机构， 具备密封 性高、 保护设备的优点。 [0005]为实现上述目的， 本 实用新型提供如下技术方案： 一种真空镀膜机的抽气机构， 包 括镀膜机主体和过滤装置， 所述镀膜机主体的顶端固定连接有支撑架， 所述支撑架的顶端 设置有真空泵， 所述真空泵的外侧固定连接有吸气管， 所述镀膜机主体的外侧 开设有安装 槽， 所述镀膜机主体的内部开设有抽气 槽， 所述抽气槽的底部开设有吸气口， 所述抽气 槽的 底部开设有限位槽， 所述限位槽的内部滑动连接有滑杆， 所述滑杆的外侧固定连接有连接 板， 所述连接板的底端固定连接有 连接块， 所述连接块的底端固定连接有卡块， 所述卡块的 外侧边角固定连接有密封圈， 所述滑杆 的外侧设置有复原弹簧， 所述抽气槽的内侧 开设有 滑槽。 [0006]优选的， 所述过滤装置包括过滤箱， 所述过滤箱的顶端 设置有过滤网， 所述过滤箱 的内部固定连接有连接杆， 所述连接杆 的外侧转动连接有小门， 所述过滤箱的两侧固定连 接有滑块， 所述过 滤箱的外侧固定连接有把手。 [0007]优选的， 所述吸气口的外侧边角固定连接有密封圈， 通过吸气口外侧的密封圈与 卡块的密封圈卡接， 从而提高了 镀膜机主体内部的密封性， 从而保证设备的镀膜质量。 [0008]优选的， 所述复原弹簧的一端固定连接在抽气槽 的底部， 另一端与连接板 的底端 固定连接， 当抽气 槽内部的气 体减少时， 镀膜机主体内部的气 压大于抽气 槽的气压， 从而将 卡块顶起， 通过真空泵对抽气槽以及镀膜机主体内部的气体 吸出， 从而使镀膜机主体的内 部形成真空空间， 当真空泵停止工作后， 由于抽气 槽与镀膜机主体的内部压力相同， 此时在 复原弹簧的弹性下将卡 块与吸气口卡接， 从而 使镀膜机主体的内部实现密封 。 [0009]优选的， 所述小门通过扭力弹簧与连接杆转动连接， 通过滑杆上升时将小门顶起， 当没有滑杆 下降时， 通过 扭力弹簧的弹性将小门关闭。 [0010]优选的， 所述小 门的外侧 设置为过滤网， 此设定可以使抽气槽内部 的气体通过真 空泵抽出。说　明　书 1/4 页 3 CN 218146923 U 3