(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222393324.9 (22)申请日 2022.09.08 (73)专利权人 苏州迈为科技股份有限公司 地址 215200 江苏省苏州市吴江区芦荡路 228号 (72)发明人 孙亮　房开乐　吴瑶　 (74)专利代理 机构 江苏瑞途律师事务所 32346 专利代理师 韦超峰 (51)Int.Cl. F26B 15/12(2006.01) F26B 23/08(2006.01) F26B 25/02(2006.01) F26B 25/00(2006.01) H05B 6/64(2006.01) H05B 6/80(2006.01)H01L 31/18(2006.01) (54)实用新型名称 一种太阳能硅片的微波干燥加热装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种太阳能硅片的微波 干燥加热装置， 属于太阳能电池制造技术领域。 烘干炉， 包括相互平行设置的上炉体与下炉体； 所述上炉体包括反射腔体， 反射腔体上安装有微 波发生器和测温装置； 所述下炉体上设有传动系 统； 所述烘干炉两端设有出入口， 硅片从一端进 入被加热并通过传动系统从另一端输出。 本实用 新型采用微波加热代替传统的红外加热方式， 通 过反射系统使得微波更均匀地作用在被加热物 体了， 缩短了加热时间， 大大提高了硅片 的加热 烘干效率， 且相较于传统的烘干方式， 能量的利 用率更高， 降低了能耗； 其传统系统采用磁力轮 带动陶瓷辊， 具有超低音的效果， 具有更高的干 净整洁性。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 217953012 U 2022.12.02 CN 217953012 U 1.一种太阳能硅片的微波干燥加热装置， 其特 征在于： 包括， 烘干炉(10 0)， 包括相互平行设置的上炉体(1 10)与下炉体(120)； 所述上炉 体(110)包括反射腔体(111)， 反射腔体(111)上安装有微波发生器(200)和测 温装置(3 00)； 所述下炉体(120)上设有传动系统(40 0)； 所述烘干炉(100)两端设有出入口(100a)， 硅片(A)从一端进入被加热并通过传动系统 (400)从另一端输出。 2.根据权利要求1所述的太阳能硅片的微波干燥加热装置， 其特征在于： 所述微波发生 器(200)包括专用电源(210)、 冷却风扇(220)、 磁控管(230)， 所述磁控管(230)一端通向所 述反射腔体(111)， 另一端设有开口(231)， 所述冷却风扇(220)安装在所述开口(231)上， 所 述冷却风扇(2 20)和磁控管(23 0)均由控制器控制并通过专用电源(210)供电。 3.根据权利要求2所述的太阳能硅片的微波干燥加热装置， 其特征在于： 所述测温装置 (300)采用红外微波探头， 其竖直安装在所述反射腔体(111)上端， 测温装置(300)的温度信 号闭环反馈给 所述微波发生器(20 0)的控制器。 4.根据权利要求3所述的太阳能硅片的微波干燥加热装置， 其特征在于： 所述微波发生 器(200)与所述测温装置(300)均 设有若干， 二者均匀 且交错地分布在所述反射腔体(111) 上。 5.根据权利要求4所述的太阳能硅片的微波干燥加热装置， 其特征在于： 所述反射腔体 (111)采用镜面 不锈钢材质且内外整体形状均匀平整。 6.根据权利要求5所述的太阳能硅片的微波干燥加热装置， 其特征在于： 所述传动系统 (400)包括陶瓷辊(410)、 磁力轮(420)、 电机(430)， 所述下炉体(120)两侧均设有限位板 (121)， 所述限位板(121)与所述反射腔体(111)的侧壁之间具有空 隙， 所述陶瓷辊(410)两 端的轴承位于所述空隙中； 所述陶瓷辊(410)两端的轴穿过限位板(121)并安装有第一磁力轮(421)， 所述下炉体 (120)两侧还设有转动杆(122)， 所述转动 杆(122)上安装若干第二磁力轮(422)， 所述转动 杆(122)上的第二磁力轮(42 2)与所述陶瓷辊(410)上的第一磁力轮(421)相互垂直； 所述转动杆(12 2)由所述电机(43 0)驱动。 7.根据权利要求6所述的太阳能硅片的微波干燥加热装置， 其特征在于： 所述电机 (430)与所述 转动杆(12 2)之间为带式传动。 8.根据权利要求6或7所述的太阳能硅片的微波干燥加热装置， 其特征在于： 所述转动 杆(122)设有多根， 每根转动杆(122)分别由一个电机驱动， 不同电机的转速相同使得多根 转动杆(12 2)转速相同。 9.根据权利要求8所述的太阳能硅片的微波干燥加热装置， 其特征在于： 所述限位板 (121)包括主板和封板， 所述主板上设有U形缺口， 所述封板安装在U形缺口上并形成U形孔 (121a)， 所述陶瓷辊(410)的轴穿过U形孔(121a)。 10.根据权利要求9所述的太阳能硅片的微波干燥加热装置， 其特征在于： 所述下炉体 (120)的两端设有缺口， 所述上炉体(1 10)安装在下炉体(120)上 形成所述出入口(10 0a)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217953012 U 2一种太阳能硅片的微 波干燥加热装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域， 更具体地说， 涉及一种太阳能硅片的 微波干燥加热装置 。 背景技术 [0002]现有的烘干炉是采用红外灯管进行加热已达到烘干效果， 具有烘干效率低， 烘干 耗能大的缺点。 微波加热是指频率在300MHZ到300KMHZ的电磁波， 该电磁波直接作用于被加 热物体， 使被加热物体产生分子运动和相互摩擦效应从而产生热量。 此时交变电磁场的场 能转化为被加热物体的热动能， 使被加热物体温度不断升高。 现有技术中缺少一种对太阳 能硅片进行微波加热干燥的装置， 用于提高烘干效率， 节省能耗。 实用新型内容 [0003]1.实用新型要解决的技 术问题 [0004]本实用新型的目的在于克服现有技术中不足， 提供了一种太阳能硅片微波干燥加 热装置， 使用微波加热代替现有的红外灯管加热， 以解决现有技术中， 红外加热烘干效率 低， 烘干能耗大的问题。 [0005]2.技术方案 [0006]为达到上述目的， 本实用新型提供的技术方案为： 一种太阳能硅片的微波干燥加 热装置， 其包括， 烘干炉， 包括相互平行设置的上炉体与下炉体； 所述上炉体包括反射腔 体， 反射腔体上安装有微波发生器和测温装置； 所述下炉体上设有传动系统； 所述烘干炉两端 设有出入口， 硅片从一端 进入被加热并通过传动系统从另一端输出。 [0007]作为本实用新型更进一步的改进， 所述微波发生器包括专用电源、 冷却风扇、 磁控 管， 所述磁控管一端通向所述反射腔体， 另一端设有开口， 所述冷却风扇安装在所述开口 上， 所述冷却风扇和磁控管均由控制器控制并通过专用电源供电。 [0008]作为本实用新型更进一步的改进， 所述测温装置采用红外微波探头， 其竖直安装 在所述反射腔体上端， 测温装置的温度信号闭环反馈给 所述微波发生器的控制器。 [0009]作为本实用新型更进一步的改进， 所述微波发生器与所述测温装置均设有若干， 二者均匀且交错 地分布在所述反射腔体上。 [0010]作为本实用新型更进一步的改进， 所述反射腔体采用镜面不锈钢材质且内外整体 形状均匀平整。 [0011]作为本实用新型更进一步的改进， 所述传动系统包括陶瓷辊、 磁力轮、 电机， 所述 下炉体两侧均设有限位板， 所述限位板与所述反射腔体的侧 壁之间具有空隙， 所述陶瓷辊 两端的轴承位于所述空隙中； 所述陶瓷辊两端的轴穿过限位板并安装有第一磁力轮， 所述 下炉体两侧还设有转动杆， 所述转动杆上安装若干第二磁力轮， 所述转动杆上 的第二磁力 轮与所述陶瓷辊上的第一磁力轮相互垂直； 所述 转动杆由所述电机驱动。 [0012]作为本实用新型 更进一步的改进， 所述电机与所述 转动杆之间为带式传动。说　明　书 1/4 页 3 CN 217953012 U 3