(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222769626.1 (22)申请日 2022.10.20 (73)专利权人 安徽晶瑞新材 料有限公司 地址 247000 安徽省池州市江南产业 集中 区新材料产业园9号厂房 (72)发明人 光善如　 (51)Int.Cl. F26B 15/12(2006.01) F26B 23/06(2006.01) F26B 25/00(2006.01) F26B 25/02(2006.01) F25D 1/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种单晶硅片烘干装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种单晶硅片烘干装置， 涉及单晶硅片技术领域。 本实用新型包括工作 台， 工作台顶部的一端设置有烘干箱， 烘干箱的 内部设置有加热丝。 本实用新型通过第一移动机 构以及第二移动机构的设置， 使得两个矩形移动 台能够分别进入烘干箱的内部进行烘干， 进而使 得其中一个矩形移动台能够在烘干时， 另一个矩 形移动台能够进行上料或下料， 并通过吹风机组 件的设置进行降温处理， 进行提高工作效率， 本 实用新型通过批量夹持机构的设置， 使得单晶硅 片能够得到批量的夹持， 对单晶硅片夹持有利于 烘干以及冷却时单晶硅片的稳定性， 通过液压缸 的运作使得批量的单晶硅片能够快速的上下料， 进一步提高工作效率。 权利要求书2页 说明书4页 附图4页 CN 218155333 U 2022.12.27 CN 218155333 U 1.一种单晶硅片烘干装置， 包括工作台(1)， 其特征在于， 所述工作台(1)顶部的一端设 置有烘干箱(2)， 所述烘干箱(2)的内部设置有加热丝(3)， 用于单晶硅片的加热； 所述工作 台(1)的中部位置处固定有U型板(4)， 所述U型板(4)内部的顶端以及底端均 设置有吹风机组件(5)； 所述工作 台(1)顶部的两端均设置有矩形移动台(16)， 所述矩形移动台(16)的顶部设 置有用于多个单晶硅片批量夹持的批量夹持机构； 所述工作台(1)内部的两侧分别设置有用于两个矩形移动台(16)单独移动的第一移动 机构以及第二移动机构。 2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片烘干装置， 其特征在于， 所述批量夹持机构包括 两个竖向柱(21)， 所述矩形移动台(16)顶部的两端均 设置有竖向柱(21)， 所述竖向柱(21) 的两端均固定有 液压缸(20)， 所述液压缸(20)的输出端固定有矩形移动板(6)， 所述矩形移 动板(6)的靠 近竖向柱(21)的一端固定有 多个圆形柱(17)； 所述圆形柱(17)的内部滑动连接有圆形滑杆(18)， 所述圆形滑杆(18)的远离矩形移动 板(6)的一端固定有夹块(19)， 所述圆形柱(17)的内部且位于圆形滑杆(18)以及矩形移动 板(6)之间设置有弹簧(2 2)。 3.根据权利要求2所述的一种单晶硅片烘干装置， 其特征在于， 所述圆形滑杆(18)靠近 矩形移动板(6)的一端且位于圆形柱(17)的内部固定有圆形滑块， 所述圆形柱(17)的内部 开设有与圆形滑块适配的圆形滑槽， 所述圆形柱(17)与圆形滑 块之间通过圆形滑槽的开设 滑动连接 。 4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片烘干装置， 其特征在于， 所述第 一移动机构包括 竖向矩形板(8)， 所述工作台(1)底部的一侧固定有竖向矩形板(8)， 所述竖向矩形板(8)一 侧的两端均固定有第一矩形固定板(23)， 其中一个所述第一矩形固定板(23)的一端螺栓固 定有第一 驱动电机(7)， 所述第一 驱动电机(7)的输出端固定有第一螺纹杆(9)， 所述第一螺 纹杆(9)的外侧 螺纹连接有矩形滑动块(11)， 所述矩形滑动块(11)的内部滑动连接有竖向 滑板(12)， 所述竖向滑板(12)的顶部固定与其中一个所述矩形移动台(16)固定连接 。 5.根据权利要求4所述的一种单晶硅片烘干装置， 其特征在于， 所述竖向矩形板(8)的 内部开设有V型槽， 所述V型槽的内部活动连接有定位轮(10)， 所述竖向滑板(12)的底部与 定位轮(10)通过轴承转动连接 。 6.根据权利要求4所述的一种单晶硅片烘干装置， 其特征在于， 所述矩形滑动块(11)的 内部开设有矩形滑槽， 所述矩形滑动块(1 1)与竖向矩形板(8)之间通过矩形滑槽滑动连接 。 7.根据权利要求4所述的一种单晶硅片烘干装置， 其特征在于， 所述第 二移动机构包括 两个第二矩形固定板(24)， 所述工作台(1)底部的两端均固定有第二矩形固定板(24)， 其中 一个所述第二矩形固定板(24)的一端螺栓固定有第二驱动电机(13)， 所述第二驱动电机 (13)的输出端固定有第二螺纹杆(15)， 所述第二螺纹杆(15)的外侧螺纹连接有L型移动块 (14)， 所述 L型移动块(14)的顶部与其中另一个所述矩形移动台(16)固定连接 。 8.根据权利要求7所述的一种单晶硅片烘干装置， 其特征在于， 所述第 二驱动电机(13) 的输出端贯穿其中一个所述第二矩形固定板(24)的内部且与第二矩形固定板(24)通过轴 承转动连接； 所述第二螺纹杆(15)一端与其中另一个所述第二矩形固定板(24)之间通过轴承转动权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 218155333 U 2连接。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 218155333 U 3