(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222024516.2 (22)申请日 2022.08.02 (73)专利权人 苏州安田丰科技有限公司 地址 215000 江苏省苏州市高新区科灵路 78号苏州高新软件园7号楼1楼101-13 室 (72)发明人 王炫铭　王伟　王静　 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 1/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) B08B 3/14(2006.01) F26B 21/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)实用新型名称 一种全自动光掩膜板清洗 机 (57)摘要 本实用新型公开了一种全自动光掩膜板清 洗机， 包括机台， 所述机台的内部设置有两根平 行分布的安装架， 两根所述安装架上设置有多个 水槽， 且两个安装架之间设置有若干平行分布的 用于输送 光掩膜板的滚轴， 若干滚轴依次穿过多 个水槽； 每个水槽上都设置有多个喷淋装置和多 个自动调节滚刷装置， 且每个自动调节滚刷装置 的两侧都设置有压辊轴组件和胶辊轴组件， 每个 水槽中滚轴的上方和下方都设置有多个用于去 除光掩膜板表 面水渍的风刀组件， 所述喷淋装置 分布于所述水槽内滚轴的上方和下方。 本实用新 型可以对光掩膜板进行清洗和风干， 并保证光掩 膜板表面的光洁度， 清洗机的自动化程度高， 极 大减少工 人的劳动强度， 提高光掩膜板的清洗作 业效率。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 217911829 U 2022.11.29 CN 217911829 U 1.一种全自动光掩膜板清洗机， 包括机台(1)， 其特征在于， 所述机台(1)的内部设置有 两根平行分布的安装架(9)， 两根所述安装架(9)上设置有多个水槽(10)， 且两个安装架(9) 之间设置有若干平行分布的用于输送 光掩膜板的滚轴(11)， 若干滚轴(11)依次穿过多个水 槽(10)； 每个水槽(10)上都设置有多个喷淋装置(2)和多个自动调 节滚刷装置(3)， 且每个自动 调节滚刷装置(3)的两侧都设置有压辊轴组件和胶辊轴组件， 每个水槽(10)中滚轴(11)的 上方和下方都设置有多个用于去除光掩膜板表面水渍的风刀组件(4)， 所述喷淋装置(2)分 布于所述水槽(10)内滚轴(1 1)的上方和下方。 2.根据权利要求1所述的一种 全自动光掩膜板清洗机， 其特征在于， 每个自动调节滚刷 装置(3)都包括有两个滚刷组件(31)， 且两个滚刷组件(31)相对于滚轴(11)呈上下对称分 布。 3.根据权利要求2所述的一种全自动光掩膜板清洗机， 其特征在于， 所述滚刷组件(31) 包括传动杆(313)， 所述传动杆(313)的两端分别设置有第一固定座(311)和第二固定座 (323)， 且所述第一固定座(311)和第二固定座(323)上均 设置有安装板(312)， 每块安装板 (312)的侧面两侧均设置有滑轨， 且滑轨上滑动连接有滑板(316)。 4.根据权利要求3所述的一种全自动光掩膜板清洗机， 其特征在于， 所述第一固定座 (311)上安装有传动电机(314)， 所述传动 杆(313)与所述传动电机(314)传动 连接， 且在所 述传动杆(313)的两端均设置有锥齿轮， 所述安装板(312)上设置有支座(317)， 所述支座 (317)上设置有滚 珠轴承， 所述滚 珠轴承上转动连接有丝杆(318)， 所述丝杆(318)的下端设 置有锥齿轮， 且所述丝杆(318)下端的锥齿轮与所述传动杆(313)端部的锥齿轮啮合， 所述 丝杆(318)的上端与所述滑板(316)传动连接， 通过传动电机(314)驱动所述传动杆(313)转 动， 并由锥齿轮带动丝杆(318)转动， 从而带动滑板(316)沿着导轨(315)做升降运动。 5.根据权利要求4所述的一种全自动光掩膜板清洗机， 其特征在于， 所述传动杆(313) 的正上方设置有转轴(319)， 所述转轴(319)的两端分别与传动杆(313)两端的滑板(316)转 动连接， 靠近所述第一固定座(311)上的滑板(316)上设置有电机安装座(321)， 所述电机安 装座(321)上设置有转动电机(322)， 所述转动电机(322)与所述转轴(319)之间通过齿轮件 啮合连接， 所述 转轴(319)上设置有滚筒 毛刷(320)。 6.根据权利要求1所述的一种全自动光掩膜板清洗机， 其特征在于， 每个水槽(10)的底 部都设置有出 水口， 所述出 水口通过 管道与设置 于机台(1)底部的排水 管道组件(5)连接 。 7.根据权利要求1所述的一种全自动光掩膜板清洗机， 其特征在于， 所述机台(1)的内 部设置有水箱(6)、 过滤器组件(8)和水泵(7)， 所述水泵(7)通过管道分别与水箱(6)和过滤 器组件(8)连接， 所述过 滤器组件(8)通过 管道与所述喷淋装置(2)连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217911829 U 2一种全自动光掩膜板清洗机 技术领域 [0001]本实用新型 涉及清洗 机技术领域， 特别是一种全自动光掩膜板清洗 机。 背景技术 [0002]半导体的生产过程中需要用到一种耗材， 即光掩膜板， 光掩膜板是一种硬面光掩 膜材料， 即光掩膜基板， 它是当前及未来微细加工光掩膜制作的主流感光材料(相当于照相 用的感光胶卷)。 它是在平整的、 高光洁度的玻璃基版上通过直流磁控溅射(SP)沉积上氮 化 铬‑氮氧化铬薄膜而形成铬膜基版， 再在其上涂敷一层光致抗蚀剂(又称光刻胶)或电子束 抗蚀剂制成匀胶铬版。 [0003]由于光掩膜板在使用时对其表面的光 洁度要求较高， 因此光掩膜板在加工完成需 要对其表面进行清洗， 通常采用人工的方式对光掩膜板的表面进行清洗， 但是这种效率太 低， 也有采用清洗设备进 行清洗， 但是设备的自动化程度不高， 清洗完成后还需要额外的机 械设备对光掩膜板表 面的水渍进 行处理， 不然等水渍干燥后留下的水痕对光掩膜板的使用 也有影响， 因此需要研发一种自动化程度高的集清洗和干燥于一体的清洗机对光掩膜板进 行清洗。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的是为了解决上述问题， 设计了一种全自动光掩膜板清洗 机。 [0005]实现上述目的本实用新型的技术方案为， 一种全自动光掩膜板清洗机， 包括机台， 所述机台的内部设置有两根平行分布的安装架， 两根所述安装架上设置有多个水槽， 且两 个安装架之 间设置有若干平行分布的用于输送光掩膜板的滚轴， 若干滚轴依次穿过多个水 槽； [0006]每个水槽上都设置有多个喷淋装置和多个自动调节滚刷装置， 且每个自动调节滚 刷装置的两侧都设置有压辊轴组件和胶辊轴组件， 每个水槽中滚轴的上方和下方都设置有 多个用于去除光掩膜板表面水渍的风刀组件， 所述喷淋装置分布于所述水槽内滚轴的上方 和下方。 [0007]作为本实用新型的进一步补充， 每个自动调节滚刷装置都包括有两个滚刷组件， 且两个滚刷组件相对于滚轴呈 上下对称分布。 [0008]作为本实用新型的进一步补充， 所述滚刷组件包括传动杆， 所述传动杆的两端分 别设置有第一固定座和第二固定座， 且所述第一固定座和第二固定座上均设置有安装板， 每块安装板的侧面两侧均设置有滑轨， 且滑轨上滑动连接有滑板 。 [0009]作为本实用新型的进一步补充， 所述第一固定座上安装有传动电机， 所述传动杆 与所述传动电机传动连接， 且在所述传动杆 的两端均设置有锥齿轮， 所述安装板上设置有 支座， 所述支座上设置有滚珠轴承， 所述滚珠轴承 上转动连接有丝杆， 所述丝杆的下端设置 有锥齿轮， 且所述丝杆下端的锥齿轮与所述传动杆端部的锥齿轮啮合， 所述丝杆的上端与 所述滑板传动连接， 通过传动电机驱动所述传动杆转动， 并由锥齿轮带动丝杆转动， 从而 带说　明　书 1/4 页 3 CN 217911829 U 3