(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221995795.0 (22)申请日 2022.07.26 (73)专利权人 杭州长川科技股份有限公司 地址 310000 浙江省杭州市滨江区 聚才路 410号 (72)发明人 徐开涛　陈夏薇　姚建强　郭剑飞　 吴文龙　 (74)专利代理 机构 北京超凡宏宇专利代理事务 所(特殊普通 合伙) 11463 专利代理师 王雪莎 (51)Int.Cl. G01R 1/04(2006.01) G01R 31/28(2006.01) B08B 5/02(2006.01) B08B 15/04(2006.01) (54)实用新型名称 载片台清洁降温装置及晶圆检测设备 (57)摘要 本实用新型提供了一种载片台清洁降温装 置及晶圆检测设备， 涉及集 成电路测试设备技术 领域， 本实用新型提供的载片台清洁降温装置包 括安装架、 吹气机构、 吸尘机构和升降机构； 吹气 机构安装于安装架上并用于向吸盘吹气； 吸尘机 构通过升降机构与安装架连接， 吸尘机构用于吸 附吸盘上的附着物， 升降机构用于调节吸尘机构 与吸盘之间的距离。 本实用新型提供的载片台清 洁降温装置可防止吸盘上粉尘堆积， 且吸尘强度 可调， 保证载片台的正常运行， 高温测试后， 还可 对吸盘吹气降温， 缩短降温时间。 权利要求书1页 说明书5页 附图1页 CN 217846407 U 2022.11.18 CN 217846407 U 1.一种载片台清洁降温装置， 其特征在于， 包括安装架(1)、 吹气机构(2)、 吸尘机构(3) 和升降机构(4)； 所述吹气机构(2)安装于所述 安装架(1)上并用于向 吸盘(5)吹气； 所述吸尘机构(3)通过所述升降机构(4)与所述安装架(1)连接， 所述吸尘机构(3)用于 吸附所述吸盘(5)上的附着物， 所述升降机构(4)用于调节所述吸尘机构(3)与所述吸盘(5) 之间的距离 。 2.根据权利要求1所述的载片台清洁降温装置， 其特征在于， 所述吹气机构(2)包括阀 门(21)、 第一气管(22)和吹气块(23)， 所述阀门(21)用于与气 源连通， 所述第一气管(22)的 一端与所述阀门(21)连通， 所述第一气管(22)的另一端与所述吹气块(23)连通， 所述吹气 块(23)安装在所述 安装架(1)上。 3.根据权利要求2所述的载片台清洁降温装置， 其特 征在于， 所述阀门(21)为电磁阀。 4.根据权利要求2所述的载片台清洁降温装置， 其特征在于， 所述第一气管(22)的两端 通过气管接 头分别与所述阀门(21)和所述吹气块(23)连接 。 5.根据权利要求1所述的载片台清洁降温装置， 其特征在于， 所述吸尘机构(3)包括吸 气机(31)、 第二气管(32)和吸附块(33)， 所述第二气管(32)的一端与所述吸气机(31)连通， 所述第二气管(32)的另一端与所述吸附块(33)连通， 所述吸附块(33)安装于所述升降机构 (4)上。 6.根据权利要求5所述的载片台清洁降温装置， 其特征在于， 所述吸尘机构(3)还包括 滤芯(34)， 所述滤芯(34)安装于所述吸气机(31)、 所述第二气管(32)或所述吸附块(3 3)内。 7.根据权利要求1所述的载片台清洁降温装置， 其特征在于， 所述升降机构(4)包括连 接于所述安装架(1)与所述吸尘机构(3)之间的气压缸、 液压缸或直线电机 。 8.根据权利要求1所述的载片台清洁降温装置， 其特征在于， 所述升降机构(4)包括旋 转电机和传动组件； 所述旋转电机固装于所述 安装架(1)上； 所述传动组件的动力 输入端与所述旋转电机连接， 所述传动组件的动力 输出端与 所述 吸尘机构(3)连接， 所述吸尘机构(3)与所述 安装架(1)滑动连接 。 9.一种晶圆检测设备， 其特征在于， 包括如权利要求1 ‑8任一项所述的载片台清洁降温 装置。 10.根据权利 要求9所述的晶圆检测设备， 其特征在于， 还包括吸盘(5)和载片台(9)， 所 述吸盘(5)安装于所述载片台(9)上， 所述载片台(9)用于带动所述吸盘(5)水平移动， 以使 所述吸盘(5)的不同位置对准所述吹气机构(2)和所述吸尘机构(3)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217846407 U 2载片台清洁降温装 置及晶圆检测设 备 技术领域 [0001]本实用新型涉及集成电路测试设备技术领域， 尤其是涉及一种载片台清洁降温装 置及晶圆检测设备。 背景技术 [0002]载片台是探针台上用于放置 晶圆的平台。 探针台在测试晶圆时， 晶圆通过真空吸 附在载片台上。 载片台在使用过程中容易出现以下问题： 首先是空气 中的粉尘易堵住真空 孔， 引起真空吸附异常； 其次是载片台高温测试后， 需要从150℃高温降温到室温， 降温时间 至少需3小时左右， 降温时间长 。 [0003]因此， 如何提供一种能够对载片台进行清洁降温的装置是本领域技术人员需解决 的技术问题之一。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种载片台清洁降温装置及晶圆检测设备， 可对吸盘 进行清洁， 高温测试后， 还可对吸盘吹气降温， 缩短降温时间。 [0005]为实现上述目的， 本实用新型提供以下技 术方案： [0006]第一方面， 本实用新型提供一种载片台清洁降温装置， 包括安装架、 吹气机构、 吸 尘机构和升降机构； [0007]所述吹气机构安装于所述 安装架上并用于向 吸盘吹气； [0008]所述吸尘机构通过所述升降机构与所述安装架连接， 所述吸尘机构用于吸附所述 吸盘上的附着物， 所述升降机构用于调节所述吸尘机构与所述吸盘之间的距离 。 [0009]进一步地， 所述吹气机构包括阀门、 第一气管和吹气块， 所述阀门用于与气源连 通， 所述第一气管的一端与所述阀门连通， 所述第一气管的另一端与所述吹气块连通， 所述 吹气块安装在所述 安装架上。 [0010]进一步地， 所述阀门为电磁阀。 [0011]进一步地， 所述第一气管的两端通过气管接头分别与所述阀门和所述吹气块连 接。 [0012]进一步地， 所述吸尘机构包括吸气机、 第二气管和吸附块， 所述第二气管的一端与 所述吸气机连通， 所述第二气管 的另一端与所述吸 附块连通， 所述吸 附块安装于所述升降 机构上。 [0013]进一步地， 所述吸尘机构还包括滤芯， 所述滤芯安装于所述吸气机、 所述第二气管 或所述吸附块内。 [0014]进一步地， 所述升降机构包括连接于所述安装架与所述吸尘机构之间的气压缸、 液压缸或直线电机 。 [0015]进一步地， 所述升降机构包括旋转电机和传动组件； [0016]所述旋转电机固装于所述 安装架上；说　明　书 1/5 页 3 CN 217846407 U 3