(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221529971.1 (22)申请日 2022.06.20 (73)专利权人 海太半导体 （无锡） 有限公司 地址 214000 江苏省无锡市新吴区新区出 口加工区K5、 K6地 块 (72)发明人 闵东京　殷琼　尤伟强　 (74)专利代理 机构 无锡市朗高知识产权代理有 限公司 32 262 专利代理师 吴红霞 (51)Int.Cl. B08B 5/02(2006.01) B08B 5/04(2006.01) B08B 15/04(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种芯片承载模具吹气清洁装置 (57)摘要 本实用新型提供一种芯片承载模具吹气清 洁装置， 包括控制单元， 控制单元电连接进气单 元和吸尘单元， 识别模具升降台的位置并控制进 气单元和吸尘单元启停； 进气单元， 进气单元与 吹气单元管道连接， 进气单元接收指令将压缩清 洁气体传输至吹气单元； 吹气单元， 吹气单元安 装在控制单元的支架上， 气刀孔斜向下指向模 具， 工作时压缩气体经由气刀孔对模具吹气； 吸 尘单元， 吸尘单元设置于吹气单元对面， 工作时 运用负压搜集吸气单元吹散的异物质。 本实用新 型采用激光传感器、 控制器过滤器、 空气压缩机、 气刀和集尘器相结合进行全自动操作， 能够清除 较顽固的异物质， 节省人力、 更加高效精确 并且 能防止二次污染。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 218133746 U 2022.12.27 CN 218133746 U 1.一种芯片承载模具吹气清洁装置， 其特 征在于， 包括： 控制单元， 所述控制单元电连接进气单元和吸尘单元， 所述控制单元识别模具升降台 的位置信号并控制进气单 元和吸尘单 元同步启停； 进气单元， 所述进气单元与 吹气单元管道连接， 所述进气单元接收控制单元指令将压 缩清洁气体传输 至吹气单 元； 吹气单元， 所述吹气单元设置于模具正面并安装在控制单元的支架(102)上， 所述吹气 单元内部有腔室， 外部有气刀孔(302)， 所述气刀孔(302)斜向下指向模 具， 工作时压缩气体 经由气刀孔(3 02)对模具吹气； 吸尘单元， 所述吸尘单元设置于吹气单元对面， 所述吸尘单元的吸纳口(401)内壁下方 与模具操作台上表面齐平连接， 工作时运用负压 搜集吸气单 元吹散的异 物质。 2.根据权利要求1所述的芯片承载模具 吹气清洁装置， 其特征在于， 所述控制单元包括 控制器(101)、 支架(102)、 底座(103)和激光传感器(104)， 所述激光传 感器(104)电连接控 制器(101)， 所述激光传感器(104)的激光头朝向模具并安装在吹气单元下部， 所述激光传 感器(104)采集模 具升降台的位置信号并传输至控制器(101)， 当模 具升降台下降到最低位 置时， 所述控制器(101)发出指令控制进气单 元和吸尘单 元启动。 3.根据权利要求2所述的芯片承载模具吹气清洁装置， 其特征在于， 所述控制器(101) 安装在支架(102)上， 所述支架(102)竖直安装在底座(103)上， 所述支架(102)高度高于模 具台面。 4.根据权利要求1所述的芯片承载模具 吹气清洁装置， 其特征在于， 所述进气单元包括 过滤器(201)、 空气压缩机(202)和电磁阀(203)， 所述过滤器(201)将过滤完成 的空气经由 气管传输至空气压缩机(202)， 所述电磁阀(203)设置在空气压缩机(202)上， 工作时， 电磁 阀(203)接收控制器(101)传送的信号启动空气压缩机(202)。 5.根据权利要求1所述的芯片承载模具 吹气清洁装置， 其特征在于， 所述吹气单元包括 进气口(301)和气刀 孔(302)， 所述进气口(301)连通 吹气单元内部腔室， 所述进气口(301) 密封连接进气单 元， 所述进气口(3 01)将传输过来的压缩气体从气刀孔(3 02)。 6.根据权利要求1所述的芯片承载模具吹气清洁装置， 其特征在于， 所述气刀孔(302) 为小圆孔， 数个所述气刀孔(302)阵列排布的在吹气单元外表面并与吹气单元内部腔室相 通。 7.根据权利要求1所述的芯片承载模具 吹气清洁装置， 其特征在于， 所述吸尘单元包括 吸纳口(401)、 电机(402)和收纳盒(403)， 所述电机(402)和收纳盒(403)设置在吸纳口 (401)下面， 所述电机(402)转动形成负压， 将吹气单元吹散的异物质经由吸纳口(401)收集 到收纳盒(40 3)中。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218133746 U 2一种芯片承 载模具吹气清洁装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及芯片加工设备领域， 尤其是涉及芯片加工设备清洁领域， 具体为 一种芯片承载模具吹气清洁装置 。 背景技术 [0002]在半导体承载测试的转换过程中， 装载模具表面常残留有异物质， 异物质的存在 导致无法将测试盘上的自锁扣完全打开， 造成装载不良， 从而发生大量产品丢失， 传统的清 洗方式通常需要人为。 发明内容 [0003]鉴于以上所述现有技术的缺点， 本实用新型的目的在于提供一种芯片承载模具吹 气清洁装置， 用于解决现有技 术的难点。 [0004]为实现上述目的及 其他相关目的， 本实用新型提供一种芯片承载模具吹气清洁装 置， 包括： 控制单元， 所述控制单元电连接进气单元和吸尘单元， 所述控制单元识别模具升 降台的位置信号并控制进气单 元和吸尘单 元同步启停； [0005]进气单元， 所述进气单元与吹气单元管道连接， 所述进气单元接收控制 单元指令 将压缩清洁气体传输 至吹气单 元； [0006]吹气单元， 所述吹气单元设置于模具正面并安装在控制单元的支架102上， 所述吹 气单元内部有腔室， 外部有气刀孔302， 所述气刀孔302斜向下指向模 具， 工作时压缩气体经 由气刀孔3 02对模具吹气； [0007]吸尘单元， 所述吸尘单元设置于吹气单元对面， 所述吸尘单元的吸纳口401内壁下 方与模具操作台上表面齐平连接， 工作时运用负压 搜集吸气单 元吹散的异 物质。 [0008]根据优选方案， 控制单元包括控制器101、 支架102、 底座103和激光传感器104， 所 述激光传感器104电连接控制器101， 所述激光传感器104的激光头朝向模具并安装在吹气 单元下部， 所述激光传感器104采集模具升降台的位置信号并传输至控制器101， 当模具升 降台下降到最低位置时， 所述控制器101 发出指令控制进气单 元和吸尘单 元启动。 [0009]根据优选方案， 控制器 101安装在支架102上， 所述支架102 竖直安装在底座103上， 所述支架102高度高于模具台面。 [0010]根据优选方案， 进气单元包括过滤器201、 空气压缩机202和电磁阀203， 所述过滤 器201将过滤完成的空气经由气管传输至空气压缩机202， 所述电磁阀203设置在 空气压缩 机202上， 工作时， 电磁阀20 3接收控制器101传送的信号启动空气压缩机202。 [0011]根据优选方案， 吹气单元包括进气口30 1和气刀孔302， 所述进气口30 1连通吹气单 元内部腔室， 所述进气口301密封连接进气单元， 所述进气口301将传输过来的压缩气体从 气刀孔302。 [0012]根据优选方案， 气刀孔302为小圆孔， 数个所述气刀孔302阵列排布的在吹气单元 外表面并与吹气单 元内部腔室相通。说　明　书 1/3 页 3 CN 218133746 U 3