(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221642459.8 (22)申请日 2022.06.28 (73)专利权人 威固乐真空设备 （浙江） 有限公司 地址 313100 浙江省湖州市长兴县林城镇 新林北路 (72)发明人 唐兴鹏　翁建龙　 (74)专利代理 机构 浙江专橙 律师事务所 3 3313 专利代理师 黄春英 (51)Int.Cl. F04C 23/00(2006.01) F04C 23/02(2006.01) F04C 29/04(2006.01) F04C 29/06(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B08B 5/02(2006.01) (54)实用新型名称 一种干式螺杆真空泵 (57)摘要 本实用新型公开了一种干式螺杆真空泵， 其 特征在于， 包括机柜， 所述机柜内设有螺杆泵和 罗茨泵， 且螺杆泵与罗茨泵之间设有连接管， 所 述罗茨泵上安装有工艺段进气口， 所述机柜侧面 设有氮气进口和溶剂进口， 所述氮气进口连接氮 气管， 且氮气管连接有冲洗支管和密封支管， 所 述冲洗支管与罗茨泵和工艺段进气口连接， 密封 支管与螺杆泵连接， 所述机柜侧面设有溶剂进 口， 溶剂进口连接有溶剂管， 所述溶剂管连接到 工艺段进气口。 该真空泵通过氮气清洗和溶剂清 洗， 两者组合有效去除带有 粉尘的危险气体 。 权利要求书1页 说明书3页 附图5页 CN 217421522 U 2022.09.13 CN 217421522 U 1.一种干式螺杆真空泵， 其特征在于， 包括机柜(1)， 所述机柜(1)内设有螺杆泵(2)和 罗茨泵(3)， 且螺杆泵(2)与罗茨泵(3)之间设有连接管， 所述罗茨泵(3)上安装有工艺段进 气口(4)， 所述机柜(1)侧面设有氮气进口(6)和溶剂进口(7)， 所述氮气进口(6)连接氮气管 (8)， 且氮气管(8)具有密封和冲洗功能， 所述机柜(1)侧面设有溶剂进口(7)， 溶剂进口(7) 连接有溶剂管(1 1)， 所述溶剂管(1 1)连接到工艺段进气口(4)。 2.根据权利要求1所述的一种干式螺杆真空泵， 其特征在于， 所述螺杆泵(2)底部的排 气口处设有消音器(16)， 且消音器(16)位于 机柜(1)内部 。 3.根据权利要求1所述的一种干式螺杆真空泵， 其特征在于， 所述罗茨泵(3)和螺杆泵 (2)分别连接有驱动电机一和驱动电机二， 且两个驱动电机都为水冷永磁变频电机， 电机结 构设计为 一体式。 4.根据权利要求3所述的一种干式螺杆真空泵， 其特征在于， 所述机柜(1)设有冷水进 口(12)和冷水出口(13)， 所述冷水进口(12)连接有冷水管(14)， 所述冷水管(14)内的冷却 水先经过螺杆泵 （2） ， 再分成两条支路， 一条支路 的冷却水依次经过驱动电机二、 驱动电机 一， 另一条支路的冷却水经过罗茨泵(3)， 最后两条支路汇聚成进入出水管(15)中， 所述出 水管(15)与冷水 出口(13)连通。 5.根据权利要求1所述的一种干式螺杆真空泵， 其特征在于， 所述机柜(1)设有控制柜 (5)， 控制柜(5)内部安装各类电子元器件。 6.根据权利要求1所述的一种干式螺杆真空泵， 其特征在于， 所述罗茨泵(3)与螺杆泵 (2)采用上 下堆叠串联， 且罗茨泵(3)位于上 方， 螺杆泵(2)位于下 方。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217421522 U 2一种干式螺杆真空泵 技术领域 [0001]本实用新型 涉及一种真空泵， 特别涉及一种干式螺杆真空泵。 背景技术 [0002]干式螺杆真空泵， 是利用一对螺杆转子， 在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的 吸气和排气作用的抽气设备。 在泵工作时， 螺杆转子间无摩擦， 运转平稳， 工作腔无需润滑 油， 它能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合。 它具有真空度高、 低能耗、 节能减排 等优点。 当它与罗茨泵串联 组合使用时， 是以罗茨泵为主抽泵 （即增压泵） ， 以螺杆泵为前级 泵。 在泵组工作时， 由螺杆泵先对系统进行预抽， 当系统压力达到允许罗茨泵启动压力后， 罗茨泵就可启动工作。 [0003]一般的将螺杆泵和罗茨泵组合的结构不够紧凑， 占地空间大， 并且无法除含粉尘 量大的气体， 抽除含粉尘量大的气体的时候， 粉尘会残留在泵体内部， 影响泵体的正常运 转， 在抽取一些危险性气体的时候， 会有一部分气体残留在泵体内， 影响整体性能。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的是提供一种干式螺杆真空泵， 该真空泵通过氮气清洗和溶剂清 洗， 两者组合有效去除带有粉尘的危险气体。 [0005]本实用新型的上述 技术目的是通过以下技 术方案得以实现的： [0006]一种干式螺杆真空泵， 包括机柜， 所述机柜内设有螺杆泵和罗茨泵， 且螺杆泵与罗 茨泵之间设有连接管， 罗茨泵 上安装有工艺段进气口， 机柜侧面设有氮气进口和溶剂进口， 氮气进口连接氮气管， 且氮气管具有密封和冲洗功能， 机柜侧面设有 溶剂进口， 溶剂进口连 接有溶剂管， 溶剂管 连接到工艺段进气口。 [0007]采用上述技术方案， 氮气进口可以通入氮气， 氮气进入氮气管后， 分成两个支路， 其中一条支路的氮气进入罗茨泵的前后端盖和工艺段进气口中， 将罗茨泵内的有毒有害的 气体通过连接管往下排入螺杆泵中， 最后 将二者体内的有毒有害气 体从工艺段出气口全部 排出， 起到冲洗作用。 另一条支路的氮气进入到螺杆泵的前后端盖中， 通过氮气进行密封。 并且从溶剂进口通入溶剂， 溶剂通过溶剂管从顶端的工艺段进气口依次进入罗茨泵和螺杆 泵中， 通过氮气冲洗和溶剂冲洗， 为了在真空泵运行前或运行后排出泵内残留气体或一些 有害的物质， 例如可凝性蒸汽、 含有 灰尘、 有毒等混合气体， 不会滞留在泵腔内， 适用于恶劣 的应用场合。 [0008]作为优选， 所述螺杆泵底部的排气口处设有消音器， 且消音器位于 机柜内部 。 [0009]采用上述技术方案， 配置消音器， 它是消除空气动力性噪声的重要措施。 此消音器 设计美观小 巧， 安装在螺杆泵排气口， 在排气系统中用于降低噪声。 [0010]作为优选， 所述罗茨泵和螺杆泵分别连接有驱动电机一和驱动电机二， 且两个驱 动电机都为水冷永磁 变频电机， 电机结构设计为 一体式。 [0011]采用上述技术方案， 驱动电机一和驱动电机二都为一体式， 即无轴承式， 与 泵体直说　明　书 1/3 页 3 CN 217421522 U 3