(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221602242.4 (22)申请日 2022.06.24 (73)专利权人 深圳市伟业永升科技有限公司 地址 518000 广东省深圳市福田区振华路 中航苑鼎诚大厦1708 (72)发明人 黄曙伟　曹彪　 (74)专利代理 机构 深圳市励知致远知识产权代 理有限公司 4 4795 专利代理师 姚朝权 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) G01N 21/88(2006.01) B08B 5/02(2006.01) (54)实用新型名称 一种半导体晶片表面 缺陷检测装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种半导体晶片表面缺 陷检测装置， 涉及半导体晶片检测技术领域， 包 括底座， 底座的上表面固定连接有壳体， 壳体的 表面设置有门体， 壳体的内壁固定连接有支撑 台， 支撑台的表面固定连接有活塞筒， 活塞筒的 表面通过连接杆固定连接有放置板； 壳体的内壁 定轴转动连接有转轴二， 转轴二的表 面固定连接 有转动板， 转动板的端部通过固定柱固定连接有 电动伸缩 杆， 电动伸缩 杆的端部设置有两个对称 设置的检测灯； 壳体的内部设置有供检测灯翻转 的辅助部件， 达到了防止操作人员手动翻转， 从 而接触到晶片， 就可能会将一些灰尘附着到晶片 上， 而出现一些检测误差的效果。 权利要求书1页 说明书4页 附图5页 CN 217586881 U 2022.10.14 CN 217586881 U 1.一种半导体晶片表面缺陷检测装置， 包括底座(1)， 其特征在于： 所述底座(1)的上表 面固定连接有有壳体(2)， 所述壳体(2)的表面设置有门体(5)， 所述壳体(2)的内壁固定连 接有支撑台(16)， 所述支撑台(16)的表面固定连接有活塞筒(12)， 所述活塞筒(12)的表面 通过连接杆固定连接有放置 板(21)； 所述壳体(2)的内壁定轴转动连接有转轴二(26)， 所述转轴二(26)的表面固定连接有 转动板(24)， 所述转动板(24)的端部通过固定柱固定连接有电动伸缩杆(25)， 所述电动伸 缩杆(25)的端部设置有两个对称设置的检测灯(2 2)； 所述壳体(2)的内部设置有供 所述检测灯(2 2)翻转的辅助部件。 2.根据权利要求1所述的一种半导体晶片表面缺陷检测装置， 其特征在于： 所述辅助部 件包括固定连接在所述壳体(2)内壁的电机(7)， 所述壳体(2)的内壁定轴转动连接有转轴 一(15)， 所述转轴一(15)与所述电机(7)的输出轴之间共同设置有锥形齿轮传动机构(8)， 所述转轴二(26)与所述 转轴一(15)之间共同设置有皮带轮传动机构(17)； 所述壳体(2)的内部还设置有喷气部件。 3.根据权利要求2所述的一种半导体晶片表面缺陷检测装置， 其特征在于： 所述喷气部 件包括固定连接在所述电机(7)输出轴的凸轮(9)， 所述活塞筒(12)的表面设置有弹簧 (11)， 所述弹簧(11)的端部固定连接有抵块(10)， 所述抵块(10)与所述活塞筒(12)之间设 置有活塞杆(30)， 所述活塞筒(12)的表面固定连通有管道一(13)， 所述管道一(13)的表面 设置有单 向阀一(14)， 所述活塞筒(12)的表面固定连通有管道二(19)， 所述管道二(19)的 表面设置有单向阀二(18)， 所述管道二(19)的端部设置有喷头(20)。 4.根据权利要求3所述的一种半导体晶片表面缺陷检测装置， 其特征在于： 所述喷头 (20)为两个为 一组， 设置有两组且分别设置在所述 放置板(21)的上 下两侧方。 5.根据权利要求1所述的一种半导体晶片表面缺陷检测装置， 其特征在于： 所述放置板 (21)的表 面通过螺丝(27)螺纹连接有翻转块(28)， 以用于对所述放置板(21)内放置的半导 体晶片进行固定 。 6.根据权利要求2所述的一种半导体晶片表面缺陷检测装置， 其特征在于： 所述转轴一 (15)与所述电机(7)输出轴之间设置的锥形齿轮传动机构(8)的传动比为2比1。 7.根据权利要求1所述的一种半导体晶片表面缺陷检测装置， 其特征在于： 所述壳体 (2)的内壁上设置有两个摄像头(23)， 且两个所述摄像头(23)分别均匀分布在所述放置板 (21)的上 下两侧方， 所述壳体(2)的表面设置有显示屏(6)。 8.根据权利要求1所述的一种半导体晶片表面缺陷检测装置， 其特征在于： 所述门体 (5)的表面设置有两个门把手(4)。 9.根据权利要求1所述的一种半导体晶片表面缺陷检测装置， 其特征在于： 所述壳体 (2)的内壁上设置有两个对称设置的补光灯(2 9)。 10.根据权利要求1所述的一种半导体晶片表面缺陷检测装置， 其特征在于： 所述底座 (1)的下表面设置有对称设置的四个阻隔垫(3)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217586881 U 2一种半导体晶片表面缺陷检测装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及半导体晶片检测技术领域， 具体为一种半导体晶片表面缺陷检测 装置。 背景技术 [0002]在半导体晶片的制 备过程中， 经常采用机械法对半导体进行切割， 再对切割的晶 片表面进 行粗磨、 细磨及化学和机械抛光,使其满足外延的要求， 而不管是打磨后还是抛光 后都需要再对半导体晶片表面进行检测， 从而判断是否还需要继续打磨或者抛光。 [0003]晶片表面瑕疵检测一般是通过检查灯对晶片表面进行照射， 然后折射出光路， 使 操作人员肉眼可识别出工件表面的瑕疵， 从而起到对晶片表面进行检测的效果。 [0004]但是一般 的检测设备只能对晶片的一面进行检测， 当需要检测另一面时， 则需要 操作人员手动翻转， 而操作人员手动翻转就会接触到晶片， 就可能会将一些灰尘附着到晶 片上， 从而出现一些误差 。 实用新型内容 [0005]本实用新型的目的在于提供一种半导体晶片表面缺陷检测装置， 具备了开启电 机， 从而带动检测灯进 行翻转一百八十度， 对另一侧的晶片进 行照射， 达到了防止操作人员 手动翻转从而就接触到晶片， 会将一些灰尘附着到晶片上， 从而出现一些检测误差的效果 效果， 解决了操作人员手动翻转会接触到晶片， 就可能会将一些灰尘附着到晶片上， 从而 出 现一些检测误差的问题。 [0006]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 一种半导体 晶片表面缺陷检测 装置， 包括底座， 所述底座的上表面固定连接有有壳体， 所述壳体的表面设置有门体， 所述 壳体的内壁固定连接有支撑台， 所述支撑台的表面固定连接有活塞筒， 所述活塞筒的表面 通过连接杆固定连接有放置 板； [0007]所述壳体的内壁定轴转动连接有转轴二， 所述转轴二的表面固定连接有转动板， 所述转动板的端部通过固定柱固定连接有电动伸缩杆， 所述电动伸缩杆的端部 设置有两个 对称设置的检测灯； [0008]所述壳体的内部设置有供 所述检测灯翻转的辅助部件。 [0009]优选的， 所述辅助部件包括固定连接在所述壳体内壁的电机， 所述壳体的内壁定 轴转动连接有转轴一， 所述转轴一与所述电机的输出轴之间共同设置有锥形齿轮传动机 构， 所述转轴二与所述 转轴一之间共同设置有皮带轮传动机构； [0010]所述壳体的内部还设置有喷气部件。 [0011]优选的， 所述喷气部件包括固定连接在所述电机输出轴的凸轮， 所述活塞筒的表 面设置有弹簧， 所述弹簧的端部固定连接有抵块， 所述抵块与所述活塞筒之间设置有活塞 杆， 所述活塞筒的表面固定连通有 管道一， 所述管道一的表 面设置有 单向阀一， 所述活塞筒 的表面固定连通有管道二， 所述管道二的表面设置有单向阀二， 所述管道二的端部设置有说　明　书 1/4 页 3 CN 217586881 U 3