(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221724812.7 (22)申请日 2022.07.06 (73)专利权人 无锡环亚 微电子有限公司 地址 214000 江苏省无锡市锡山经济技 术 开发区云林蓉通路17 (72)发明人 张军区　董金良　杜国强　 (74)专利代理 机构 合肥晟科正创专利代理事务 所(普通合伙) 34274 专利代理师 杨代凯 (51)Int.Cl. G03F 7/30(2006.01) G03F 7/16(2006.01) G03F 7/38(2006.01) B08B 5/02(2006.01) (54)实用新型名称 一种具有晶圆定位功能的涂胶显 影机 (57)摘要 本实用新型公开了一种具有晶圆定位功能 的涂胶显影机， 包括基座、 加工腔以及控制面板， 基座的内部开设有加工腔， 且基座的内部设置有 控制面板， 加工腔的内部设置有转动盘， 且加工 腔的内部设置有涂胶组件与曝光组件， 基座的内 部位于加工腔下方的位置开设有安装腔， 且安装 腔的内部设置有电机， 电机的输出轴固定连接有 支撑杆； 本实用新型是通过设置加热组件， 能够 在利用加热片环形腔内部加热的同时， 使支撑杆 带动齿轮一驱动齿轮二转动， 从而使转动杆带动 连接环以及叶片转动， 使环形腔内部的热气流在 扇叶的导向下通过导气组件喷洒至转动盘表面， 能够在将晶片周围的灰尘吹落的同时， 还对点胶 处进行烘干 。 权利要求书2页 说明书5页 附图3页 CN 217639934 U 2022.10.21 CN 217639934 U 1.一种具有晶圆定位功能的涂胶显影机， 包括基座(1)、 加工腔(2)以及控制面板(3)， 所述基座(1)的内部开设有加工腔(2)， 且基座(1)的内部设置有控制面板(3)， 其特征在于， 所述加工腔(2)的内部设置有转动盘(25)， 且加工腔(2)的内部设置有涂胶 组件(4)与曝光 组件(5)， 所述基座(1)的内部位于加工腔(2)下方的位置开设有安装腔(21)， 且安装腔(21) 的内部设置有电机(22)， 所述电机(22)的输出轴固定连接有支撑杆(23)， 且支撑杆(23)的 一端贯穿安装腔(21)并延伸至加工腔(2)的内部， 所述支撑杆(23)的外表 面位于加工腔(2) 内部的一端呈环形等距离固定连接有四组连接杆(2 4)， 且转动盘(25)的上端外表 面开设有 通孔(26)， 所述连接杆(24)的一端与支撑杆(23)固定连接， 另一端与通孔(26)内表面固定 连接， 所述通孔(26)内部开设有环形腔(27)， 且环形腔(27)与支撑杆(23)之间设置有加热 组件(6)； 所述加热组件(6)包括热电偶(61)、 电加热片(62)、 齿轮一(63)、 齿轮二(64)、 转动杆 (65)、 支撑块(66)、 连接环(67)以及导气组件(68)， 所述支撑杆(2 3)的外表面位于通孔(26) 内部的位置固定连接持有齿轮一(63)， 且齿轮一(63)的上端外表 面呈环形等距离啮合有齿 轮二(64)， 所述环形腔(27)内表面底端呈环形等距离设置有电加热片(62)， 所述电加热片 (62)的上端外表面设置有热电偶(61)， 所述齿轮二(64)的内部固定连接有转动杆(65)， 且 加工腔(2)内表面底部与转动杆(65)对应的位置呈环形等距离固定连接有支撑块(66)， 所 述转动杆(65)与支撑块(66)转动连接， 所述转动杆(65)的一端贯穿支撑块(66)并延伸至环 形腔(27)的内部， 且转动杆(65)外表面位于电加热片(62)两侧的位置固定连接有连接环 (67)， 所述连接环(67)的外表面固定连接有叶片(69)， 且叶片(69)的正面朝向远离支撑块 (66)的方向， 所述 转动盘(25)的外表面与电加热片(62)对应的位置设置有导气组件(68)。 2.根据权利要求1所述的一种具有晶圆定位功能的涂胶显影机， 其特征在于， 所述支撑 块(66)的外表面与转动杆(65)对应的位置开设有 连接孔(661)， 且 连接孔(661)的内表面开 设有环形槽(662)， 所述环形槽(662)的内表面转动 连接有环形块(663)， 且环形块(663)与 转动杆(6 5)固定连接 。 3.根据权利要求1所述的一种具有晶圆定位功能的涂胶显影机， 其特征在于， 所述导气 组件(68)包括固定管(68 1)、 活动管(682)、 喷头(683)以及限位件(684)， 所述固定管(68 1) 与转动盘(25)固定连接， 且固定管(681)的外表面远离转动盘(25)的一端固定连接有限位 环， 所述固定管(681)的外表面活动 连接有活动管(682)， 且活动管(682)远离固定管(681) 的一端固定连通有喷头(683)， 所述喷头(683)朝转动盘(25)方向， 所述固定管(681)与活动 管(682)之间设置有限位件(684)。 4.根据权利要求3所述的一种具有晶圆定位功能的涂胶显影机， 其特征在于， 所述限位 件(684)包括弧形块(685)、 弹簧(686)、 活动块(687)、 活动槽(688)以及限位槽(689)， 所述 固定管(681)的两侧外表面开设有限位槽(689)， 且活动管(682)内表面与限位槽(689)对应 的位置开设有活动槽(688)， 所述活动槽(688)内表面设置有弹簧(686)， 且弹簧(686)的一 端与活动槽(688)固定连接， 另一端与活动块(687)固定连接， 所述活动块(687)的一端贯穿 至限位槽(689)的内部并固定连接有弧形块(685)， 且限位槽(689)横截面呈波浪状。 5.根据权利要求1所述的一种具有晶圆定位功能的涂胶显影机， 其特征在于， 所述加工 腔(2)内表面的顶端固定连接有顶架(7)， 且顶架(7)的下端外表面设置有电动伸缩杆(8)， 且电动伸缩 杆(8)的下端与曝光组件(5)相连接， 所述曝光组件(5)位于转动盘(25)的上方，权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 217639934 U 2且涂胶组件(4)的数量 为两组， 两组所述涂胶组件(4)对称式分布于转动盘(25)的两侧。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 217639934 U 3