(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202111487748.5 (22)申请日 2022.02.24 (71)申请人 江苏晋誉达半导体股份有限公司 地址 215600 江苏省苏州市张家港经济技 术开发区福新路2号 (72)发明人 蒋磊　刘毅　黄鹏飞　 (74)专利代理 机构 苏州金项专利代理事务所 (普通合伙) 3245 6 代理人 金星 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 3/14(2006.01) B08B 13/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)发明名称 一种去胶剥离 机的高压剥离装置 (57)摘要 本发明公开了一种去胶剥离机的高压剥离 装置， 包括外腔体、 清洗腔、 晶圆卡座， 清洗腔包 括外固定圈、 内固定圈和活动罩壳， 活动罩壳升 降安装于外腔体上且处于外固定圈和 内固定圈 之间， 外腔体内设置有第一升降摆臂和第二升降 摆臂， 第一升降摆臂和第二升降摆臂的末端分别 安装有常压喷嘴和高压喷嘴， 清洗腔还安装有下 喷嘴， 下喷嘴、 常压喷嘴和高压喷嘴分别与剥离 液供应系统连通， 所述外腔体的底部设置有外排 液口、 中间排液口和内排液口， 外排液口、 中间排 液口和内排液口均与 废液收集系统管道连通， 外 腔体上还设置有抽气口和进料口， 抽气口与抽气 系统相连通。 该高压剥离装置能够更好的去胶剥 离， 减少剥离液的消耗， 也减少了剥离液的飞溅。 权利要求书2页 说明书5页 附图6页 CN 114260229 A 2022.04.01 CN 114260229 A 1.一种去胶剥离机的高压剥离装置， 包括外腔体， 所述外腔体内安装有清洗腔， 所述清 洗腔内转动安装有卡装晶圆的晶圆卡座， 所述晶圆卡座由旋转动力装置驱动， 其特征在于： 所述清洗腔包括外固定圈、 内固定圈和活动罩壳， 所述晶圆卡座处于内固定圈内， 所述外固 定圈和内固定圈固定于外腔 体的底部， 所述活动罩壳升降安装于外腔体上且处于外固定圈 和内固定圈之间， 所述活动罩壳的上端设置有喷淋窗口， 所述活动罩壳由第一升降动力装 置驱动， 当活动罩壳处于下止点时， 晶圆卡座 从喷淋窗口露出， 所述外腔 体内位于清洗腔的 外侧设置有第一升降摆臂和第二升降摆臂， 所述第一升降摆臂和 第二升降摆臂的末端分别 安装有常压喷嘴和高压喷嘴， 所述清洗腔还安装有对晶圆底 面喷淋的下喷嘴， 所述下喷嘴、 常压喷嘴和高压喷嘴分别与剥离液供应系统连通， 所述外腔 体的底部处于清洗腔的外侧设 置有外排液 口， 所述外腔体的底部处于外固定圈和内固定圈之间设置有中间排液 口， 外腔 体的底部处于内固定圈内设置有内排液 口， 所述外排液 口、 中间排液 口和内排液 口均与废 液收集系统管道连通， 所述外腔体上还设置有抽气口和进料 口， 所述进料 口处安装有进料 口封堵装置， 所述抽气口与抽气系统相连通。 2.如权利要求1所述的一种 去胶剥离机的高压剥离装置， 其特征在于： 所述活动 罩壳包 括罩壳本体， 所述喷淋窗口设置于罩壳本体的上端中部， 所述罩壳本体的通过升降结构安 装于所述外腔体上， 所述罩壳本体的下端设置有环形嵌槽， 所述内固定圈处于所述环形嵌 槽内。 3.如权利要求2所述的一种 去胶剥离机的高压剥离装置， 其特征在于： 所述升降结构包 括若干根升降连杆， 所述升降连杆上端伸入环形嵌槽内且与罩壳本体相互固定， 所述升降 连杆的下端滑动贯穿内固定圈和外腔 体的底部， 所述升降连杆的下端与所述第一升降动力 装置连接 。 4.如权利要求3所述的一种 去胶剥离机的高压剥离装置， 其特征在于： 所述罩壳本体的 外部还设置有外罩壳， 所述外罩壳的与罩壳本体之间形成了环形空间， 所述外罩壳的下端 处于外固定圈和内 固定圈之间， 所述外罩壳的下端低于罩壳本体的下端。 5.如权利要求4所述的一种 去胶剥离机的高压剥离装置， 其特征在于： 所述中间排液口 和内排液口的数量均为多个且成圆周布置， 所述外腔 体的底部上分别设置有与中间排液口 和内排液口位置对应的中间环槽和内环槽 。 6.如权利要求5所述的一种 去胶剥离机的高压剥离装置， 其特征在于： 所述剥离液供应 系统包括新液储罐和回收液储罐， 所述新液储罐通过新液供应系统与高压 喷嘴相连通， 所 述回收液储罐通过回收液供应系统与下喷嘴和常压喷嘴连通； 所述废液收集系统通过回收 液补充管路与回收液储罐 连通， 所述回收液补充管路上设置有过 滤器。 7.如权利要求6所述的一种 去胶剥离机的高压剥离装置， 其特征在于： 所述晶圆卡座包 括安装可拆卸固定于外腔 体底部且处于内固定圈内的安装底座， 所述安装底座上转动安装 有卡座本体， 所述卡座本体上设置有方便定位晶圆的卡爪盘， 所述外腔体的下方固定有所 述的旋转动力装置， 所述旋转动力装置的动力端与所述卡座本体固定， 所述下喷嘴通过角 度调节机构安装于安装底座上， 所述喷淋窗口 的中心与卡爪盘的中心同心。 8.如权利要求7所述的一种 去胶剥离机的高压剥离装置， 其特征在于： 所述角度调节机 构包括固定于安装底座上且倾斜设置的固定支架， 所述固定支架上设置倾斜的调节条孔， 所述调节条孔的延伸方向中具有一个径向分方向， 所述调节条孔内安装有锁紧螺栓， 所述权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114260229 A 2锁紧螺栓连接有调节 支架， 所述下喷 嘴固定于所述调节 支架上。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114260229 A 3