ICS L90 廊 31.030 DB1310 坊 市 地 方 标 准 DB 1310/T 227—2020 电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺 技术规范 2020 - 10 - 16 发布 廊坊市市场监督管理局 2020 - 11 - 16 实施 发 布 DB1310/T 227—2020 前  言 本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。 本标准由大厂回族自治县市场监督管理局提出。 本标准起草单位：廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司。 本标准主要起草人：贾建亮、黄永恩、贾建恩、孙艳、关海华、李继东。 I DB1310/T 227—2020 电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术规范 1 范围 本文件规定了电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义、从业人员、设备、原辅材料、工 艺过程、环境要求和管理要求。 本文件适用于电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB 8978 污水综合排放标准 GB 12348 工业企业厂界环境噪声排放标准 GB 16297 大气污染物综合排放标准 GB 18597 危险废物贮存污染控制标准 GB 18599 一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准 GB 50034 建筑照明设计标准 GB 50073 洁净厂房设计规范 GBZ 2.1 工作场所有害因素职业接触限值（第一部分 化学有害因素） GBZ 188 职业健康监护技术规范 GBZ/T 189.8 工作场所物理因素测量 第8部分：噪声 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 电弧熔制 arc fusion 利用高温电弧熔融石英砂原料的过程 3.2 涂层 coating 在石英坩埚内壁或外壁涂覆特种材料的过程。 4 从业人员 4.1 职业健康 1 DB1310/T 227—2020 应按照GBZ 188的要求，对从业人员进行岗前、岗中、离岗职业健康体检，同时配备符合要求的个 体防护用品，保证从业人员符合职业健康安全管理要求。 4.2 岗位技能 从业人员应通过三级安全教育、岗位技能培训，经考核合格后方可上岗。 5 设备 5.1 熔制设备 应具有电极开闭、升降、旋转、冷却、弧变、除尘等装置。 5.2 外表面处理设备 应具有喷砂、研磨等功能。 5.3 切边倒棱设备 应具有对中、切制、内倒角、外倒角等功能。 5.4 纯水清洗设备 5.4.1 手动纯水清洗设备 应具有纯水冲洗等装置。 5.4.2 自动纯水清洗设备 应具有产品自动化传输、纯水自动冲洗等装置。 5.5 涂层设备 应具有加热、旋转、喷雾、冷却专用涂层等装置。 6 原辅材料 6.1 石英砂 石英砂杂质元素含量应符合表1的规定。 2 DB1310/T 227—2020 表1 位 元素名称 置 铝 AL 内 石英砂杂质元素含量 钙 镁 钡 铬 铜 铁 镍 锰 锂 钠 钾 锆 钛 锗 磷 硼 Ca Mg Ba Cr Cu Fe Ni Mn Li Na K Zr Ti Ge P B 13.5 1.2 0.1 0.1 0.1 0.1 0.5 0.1 0.1 0.8 0.8 0.8 0.5 2.0 2.0 0.1 0.1 7.7 0.8 0.0 0 0 0 0.2 0 0 0.1 0.2 0.1 0 1.4 0.7 0 < 层 1 内 层 5 0.1 2 外 16.0 1.2 0.1 0.1 0.1 0.1 0.5 0.1 0.1 1.0 1.0 1.0 0.5 2.0 2.0 0.1 0.1 层 注1：锂、钠、钾3种元素之和≤2.0。 注2：杂质元素含量小于或等于表中所示值。 6.2 石墨电极 应符合以下要求： a) 体积密度：≥1.65 g/cm³； b) 电阻率： ≤8.5µΩ•m； c) 灰分： ≤50 µg /g； d) 抗压强度:≥35 MPa； e) 抗折强度：≥15 MPa。 6.3 涂层原料 6.3.1 涂层原料 试剂纯度≥99.99%。 6.4 纯水 电阻率≥16 MΩ·cm。 7 工艺过程 7.1 熔制 7.1.1 上料成型 利用离心力和成型装置，将石英砂原料在旋转的坩埚模具内形成一定的形状和厚度。 7.1.2 埚坯电弧熔制 以高温电弧为热源，对坩埚模具内的石英砂原料进行高温熔制。 7.2 外表面处理 3 DB1310/T 227—2020 坩埚端口朝下放置于作业平台，利用研磨设备或各类喷砂设备去除坩埚外表面未完全熔融的石英 砂。 7.3 切边倒棱 利用切边倒棱设备的对中装置对坩埚进行校正后，按高度要求用切断装置对坩埚进行切断，再利用 内、外倒角装置，按要求对坩埚切断端面进行倒角处理。 7.4 纯水清洗 7.4.1 手动清洗 将坩埚浸入盛放纯水的浸泡池内，规定时间内取出，对坩埚内、外表面及端口进行纯水清洗。 7.4.2 自动清洗 将坩埚放置于自动进料传输平台，按相应工艺参数对设备进行设置，然后对坩埚内、外表面及端口 进行纯水清洗。 7.5 涂层 7.5.1 手动涂层 人工利用手动涂层装置将配比好的特种材料涂覆在坩埚内表面和（或）外表面上。 7.5.2 自动涂层 按相应工艺参数对设备进行设置，自动将配比好的特种材料涂覆在坩埚内表面和（或）外表面上。 8 环境要求 8.1 总则 企业应为员工提供适宜的作业环境，作业场所的洁净度、温度、湿度、照度、通风换气、作业场所 噪声、粉尘、废弃物排放应在适宜的范围内。 8.2 洁净度、温度和湿度 应符合表2的规定。 表2 各工序工作洁净度、温度和湿度范围 工序名称 空气洁净要求 温度/℃ 相对湿度 RH/% 埚坯电弧熔制 应符合 GB 50073 中规定的 N 16～38 10～60 ≥8 外表面处理 新风初效处理 16～33 10～80 切边倒棱 新风初效处理 16～33 10～80 纯水清洗 应符合 GB 50073 中规定的 N 16～33 10～60 20～38 10～50 ≥9 涂层 应符合 GB 50073 中规定的 N ≥7 4 DB1310/T 227—2020 8.3 照度 照度应符合GB 50034的规定。 8.4 通风换气 作业场所应通风良好，设置适宜的局部排风除尘设施和新风补偿设施，应保证每人不小于20m³/h 的 新风量。 8.5 作业场所噪声 作业场所噪声应符合GBZ/T 189.8的规定. 8.6 粉尘 粉尘应符合GBZ 2.1的规定. 8.7 废弃物排放 8.7.1 废水 废水经过处理后的排放标准应符合GB 8978及相应的地方法律法规的规定。 8.7.2 废气 废气经过处理后的排放标准应符合GB 16297及相应的地方法律法规的规定。 8.7.3 厂界噪声 厂界噪声应符合GB 12348及相应的地方法律法规的规定. 8.7.4 固体废物 固体废物的收集、处置应符合GB 18599及相应的地方法律法规的规定。 8.7.5 危险废物 危险废物的处置应符合GB 18597及相应的地方法律法规的规定。 9 管理要求 9.1 9.2 9.3 9.4 9.5 作业现场应建立管理制度，设置人员专用安全通道，明确提示、禁止标识。 作业现场的设备及器物应采取定置管理，摆放整齐有序。 人员、产品进出净化室应使用专用通道。 在线原辅材料、产品应采取防护措施，避免受到污染。 现场操作人员应佩戴适宜的头部、呼吸器官、眼面部、手部、足部、躯干防护用品。 _________________________________ 5